[发明专利]一种柔性表面形貌快速提取方法

权利要求书

1.一种柔性表面形貌快速提取方法，其特征在于，采用数字微镜器构建移动的线光束，并将该移动的线光束照射在被测物表面并由该被测物表面反射后，由CCD图像传感器接收，完成对被测物表面的扫描和快速提取，具体包括如下步骤：

1)光源发出的光经准直镜准直后，以一个大于0度小于90度的入射角照射在数字微镜器的反射面上，由该数字微镜器将该入射光调制成线光束并反射出去；其中，该线光束由所述数字微镜器的指定出射方向射出；

2)所述数字微镜器通过其控制单元控制所述线光束的出射位置从该数字微镜器的反射面的一端向另一端移动；

3)所述线光束从数字微镜器出射后，先传至第一凸透镜进行聚光，然后在该聚光处由分光镜反射转向一个预设的第一角度后通过第二凸透镜还原为平行的光，最后照射在被测物表面上；

4)照射在被测物表面的光经被测物表面反射后，依次通过第二凸透镜、分光镜和第三凸透镜被CCD图像传感器接收；

其中，所述第一凸透镜、第二凸透镜和第三凸透镜面向所述分光镜的一侧的焦点均落于所述分光镜上。

2.如权利要求1所述的一种柔性表面形貌快速提取方法，其特征在于，步骤1)中，所述数字微镜器通过利用其控制单元，将该数字微镜器的其中一行或相邻的多行微镜偏转到同一个预设的第二角度，同时将其他微镜偏转到其他角度，实现将所述入射光调制成所述线光束并反射出去。

3.如权利要求2所述的一种柔性表面形貌快速提取方法，其特征在于，步骤2)中，所述数字微镜器通过利用其控制单元，控制该数字微镜器上的所有微镜以一行或相邻的多行为一组依次轮流偏转到所述第二角度，实现将所述线光束的出射位置从该数字微镜器的反射面的一端向另一端移动。

4.如权利要求1所述的一种柔性表面形貌快速提取方法，其特征在于，所述第一角度为90度。