[发明专利]一种H型栅SOI器件的建模方法有效

专利信息
申请号: 201410163198.5 申请日: 2014-04-22
公开(公告)号: CN103955570B 公开(公告)日: 2017-01-18
发明(设计)人: 卜建辉;罗家俊;韩郑生 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)11370 代理人: 朱海波
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 型栅 soi 器件 建模 方法
【权利要求书】:

1.一种SOI MOS器件的建模方法,其中该SOI MOS器件为H型栅SOI MOS器件,该方法包括:

a.提取所述MOS器件的模型参数,包括直流参数和交流参数;

b.计算额外栅电容;

c.以提取的MOS器件模型为基础,采用子电路模型,在栅和体之间加上额外的栅电容,生成最终模型。

2.根据权利要求1所述的方法,其中MOS器件模型为BSIMSOI模型。

3.根据权利要求1所述的方法,其中额外栅电容包括第一额外栅电容C1和第二额外栅电容C2两部分。

4.根据权利要求1所述的方法,其中计算额外栅电容的方法是:

根据步骤a中所提取大面积MOS管的交流参数,获得该MOS管的电容,根据大面积MOS管的电容获取单位面积栅氧电容。

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