[发明专利]一种H型栅SOI器件的建模方法有效
申请号: | 201410163198.5 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103955570B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 卜建辉;罗家俊;韩郑生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)11370 | 代理人: | 朱海波 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 型栅 soi 器件 建模 方法 | ||
1.一种SOI MOS器件的建模方法,其中该SOI MOS器件为H型栅SOI MOS器件,该方法包括:
a.提取所述MOS器件的模型参数,包括直流参数和交流参数;
b.计算额外栅电容;
c.以提取的MOS器件模型为基础,采用子电路模型,在栅和体之间加上额外的栅电容,生成最终模型。
2.根据权利要求1所述的方法,其中MOS器件模型为BSIMSOI模型。
3.根据权利要求1所述的方法,其中额外栅电容包括第一额外栅电容C1和第二额外栅电容C2两部分。
4.根据权利要求1所述的方法,其中计算额外栅电容的方法是:
根据步骤a中所提取大面积MOS管的交流参数,获得该MOS管的电容,根据大面积MOS管的电容获取单位面积栅氧电容。
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