[发明专利]一种脱泡及回收再循环的系统及其工艺有效
申请号: | 201410163717.8 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103949092A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 徐晓东;曲文超;郭丽娟 | 申请(专利权)人: | TDK大连电子有限公司 |
主分类号: | B01D19/02 | 分类号: | B01D19/02;B01D36/00 |
代理公司: | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人: | 王树本 |
地址: | 116600 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 脱泡 回收 再循环 系统 及其 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及一种脱泡及回收再循环的系统及其工艺,属于脱泡机构进出料控制装置及方法技术领域。
背景技术
在光碟保护层旋涂工艺中,如果旋涂液料中含有一个气泡,这个气泡将会停留在光碟表面。当激光读取器聚焦光束读取数据时,由于气泡的存在将会导致激光无法聚焦,导致数据读取失败。因此,在光碟保护层旋涂制备中,保护层内不允许存在一个气泡,即要求旋涂液料内无气泡。目前,脱泡工艺主要有离心脱泡、静置脱泡、高温脱泡、超声振动脱泡、真空脱泡、化学药品消泡等。离心脱泡时间短,但成本较高,且不适用于光碟旋涂连续作业。静置脱泡所需时间长,但成本较低,对于粘度较高的液料效果不明显。高温脱泡会加速气泡逸出速率,但脱泡时间长,温度较高容易影响液料物理及化学性能。超声振动脱泡虽然具有气泡逸出速率快,不影响脱泡液料的物理及化学性能,但是真空脱泡时间长、不适用于连续作业,但可与其它脱泡工艺一同使用。化学药品消泡针对低粘度液料有一定的效果、但是加入化学药品后对产品的质量会产生影响。
发明内容
为了克服现有技术中存在的不足,本发明目的是提供一种脱泡及回收再循环的系统及其工艺。该系统及其工艺针对目前现有脱泡工艺及其优缺点,结合光盘旋涂工艺的技术特点及对液料的技术要求,提供了一种成本低、操作简单、脱泡效率高,不会对脱泡液料的物理及化学性能产生影响,并可实现液料供给、脱泡、使用、回收的循环连续作业的系统。
为了实现上述发明目的,解决现有技术中所存在的问题,本发明采取的技术案是:一种脱泡及回收再循环的工艺,包括以下步骤:
(a)将新液料经真空泵和吸管的作用下进入搅拌罐内进行匀速恒温搅拌,罐内温度控制在35~45℃、搅拌器转速控制在20~40rpm;
(b)将步骤(a)搅拌后的液料在真空吸力作用下经由金属管路送入第一真空脱泡罐内,在超声振动及真空状态下进行一次脱泡处理,超声振动频率控制在50~70Hz、罐内真空度控制在-80~-100Kp、脱泡时间控制在70~110分钟;
(c)将步骤(b)一次脱泡后的液料在真空吸力作用下经由金属管路送入第二瀑布式脱泡罐内进行二次脱泡处理,用于过滤液料内存有的微量气泡,脱泡时间控制在50~90分钟;
(d)将步骤(c)二次脱泡后的液料在真空吸力作用下经第一过滤器过滤后,送入第三真空脱泡罐内进行三次脱泡处理,罐内真空度控制在-80~-100Kp;
(e)将步骤(d)三次脱泡后的液料在真空吸力作用下进入储藏罐内,再经第二过滤器过滤后直接进行光碟旋涂作业;
(f)将步骤(e)光碟旋涂后剩余液料流入回收罐内,在真空吸力作用下经第三过滤器过滤后流入搅拌罐内,与新液料混合继续使用,实现回收再循环。
一种脱泡及回收再循环的系统,主要包括搅拌罐、第一真空脱泡罐、第二瀑布式脱泡罐、第三真空脱泡罐、储存罐及回收罐,所述搅拌罐的底部和罐体外壁安有加热器、内部安有搅拌器、温控器及测温探头,所述第一真空脱泡罐的底部安有超声发生器、所述第一、三真空脱泡罐的顶部分别安有压力表、电磁阀及气体流量计,用以控制脱泡罐内的真空度,所述第三真空脱泡罐的容积是第一真空脱泡罐的两倍,用于保证液料的连续流动。所述第二瀑布式脱泡罐为一长方体密闭容器、其底部和顶部分别焊接相互交替并行排列的金属隔板组成3~5组U型气泡瀑布式过滤装置、液料在瀑布式脱泡罐内按设定U型路径慢速流动,液料每流经一组U型路径,由于受到金属隔板的阻隔,液料内存有的微量气泡部分被过滤,经过4组U型路径后,液料内气泡会得到高效过滤。所述金属隔板的间距与金属隔板到第二瀑布式脱泡罐的顶部、底部的间距相等均为5~6cm。所述搅拌罐通过金属管路与第一真空脱泡罐相连、所述第一真空脱泡罐通过金属管路与第二瀑布式脱泡罐相连、所述第二瀑布式脱泡罐通过金属管路及第一过滤器与第三真空脱泡罐相连、所述第三真空脱泡罐通过金属管路及第二真空泵与储存罐相连、所述储存罐通过金属管路及第二过滤器与光碟旋涂作业相连、所述光碟旋涂作业通过金属管路与回收罐相连、所述回收罐通过金属管路、第三过滤器及第三真空泵与搅拌罐相连。
所述第一、二过滤器中的过滤芯过滤精度均为1μm。
所述第三过滤器中的过滤芯过滤精度为10μm。
所述系统采用的各种设备均为金属材质制成、需要进行接地处理。
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