[发明专利]用于预防封装时测试结构短路的保护环和封装测试方法有效
申请号: | 201410164122.4 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN104022105B | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 尹彬锋;赵敏;周柯 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/58 | 分类号: | H01L23/58;H01L21/66 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 预防 封装 测试 结构 短路 保护环 方法 | ||
1.一种用于预防封装时测试结构短路的保护环,其特征在于,包括:
若干个在竖直方向上设置的金属层,且所述若干金属层均围绕所述测试结构设置,所述测试结构由若干个间隔一定距离的金属垫构成,所述若干金属层在相邻两个所述金属垫之间断开一定距离;
每相邻两个所述金属层之间均设置有一介质层,包括多个上介质层,所述多个介质层逐层叠加;每层所述介质层的材质均为硅氧化物;所述介质层的介电常数为4到4.2。
2.如权利要求1所述的预防封装时测试结构短路的保护环,其特征在于,断开的距离根据工艺制程进行确定。
3.如权利要求1所述的预防封装时测试结构短路的保护环,其特征在于,若干所述金属层的叠加高度大于或等于所述测试结构的高度。
4.一种预防测试结构短路的封装测试方法,其特征在于,包括如下步骤:
在一包含若干测试结构晶片上形成如权利要求1所述的预防测试结构短路的保护环;
对晶片进行切割,以获得包含所述保护环和所述测试结构的测试芯片;
提供一陶瓷基座,所述陶瓷基座具有放置区域和陶瓷基座引脚,所述预防测试结构短路的保护环位于放置区域上;
在所述预防测试结构短路的保护环中的金属垫上打金属连线球,在所述金属连线球上打金属线连接到陶瓷基座引脚上。
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