[发明专利]一次编程存储器有效
申请号: | 201410164447.2 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN104916638B | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 林崇荣 | 申请(专利权)人: | 林崇荣 |
主分类号: | H01L27/112 | 分类号: | H01L27/112;G11C17/14 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 李昕巍,赵根喜 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一次 编程 存储器 | ||
技术领域
本发明涉及一种存储器,且特别涉及一次编程存储器。
背景技术
众所周知,非挥发性存储器在断电之后仍旧可以保存其资料内容。一般来说,当非挥发性存储器制造完成并出厂后,使用者即可以编程(program)非挥发性存储器,进而将资料记录在非挥发性存储器中。而根据编程的次数,非挥发性存储器可进一步区分为多次编程存储器(multi-time programming memory,简称MTP存储器),或者一次编程存储器(one time programming memory,简称OTP存储器)。
基本上,使用者可以对MTP存储器进行多次的储存资料修改。相反地,使用者仅可以编程一次OTP存储器。一旦OTP存储器编程完成之后,其储存的资料将无法修改。
请参照第1A图与第1B图,其所绘示为OTP存储器的记忆胞及其等效电路示意图。第1A图与第1B图中包括两个记忆胞110、120,每个记忆胞110、120中具有两个晶体管,可称为2T记忆胞。
如图第1A图所示,利用浅沟渠隔离结构(STI)130将P型基板(P-sub)100区分为两个部分以定义出两个记忆胞110、120的区域。于第一记忆胞110中,两个N掺杂区域111、112之间的P型基板100表面上具有第一栅极结构113,其包括一栅极氧化层(gate oxide layer)、多晶硅栅极层(poly gate layer)以及间隙壁(spacer)。再者,N掺杂区域112与浅沟渠隔离结构(STI)130之间的P型基板100表面上具有第二栅极结构114。再者,N掺杂区域111连接至位元线BL0、第一栅极结构113连接至字元线WL0、第二栅极结构114连接至控制线CL0。
同理,于第二记忆胞120中,两个N掺杂区域121、122之间的P型基板100表面上具有第一栅极结构123。再者,N掺杂区域122与浅沟渠隔离结构(STI)130之间的P型基板100表面上具有第二栅极结构124。再者,N掺杂区域121连接至位元线BL1、第一栅极结构123连接至字元线WL1、第二栅极结构124连接至控制线CL1。
如第1B图所示,第一记忆胞110中包括一开关晶体管T01以及一储存晶体管T00,开关晶体管T01栅极连接至字元线WL0,其第一源/漏端(drain/source terminal)连接至位元线BL0;储存晶体管T00栅极连接至控制线CL0,其第一源/漏端连接至开关晶体管T01的第二源/漏端,其第二源/漏端为浮接(floating)。
同理,第二记忆胞120中包括一开关晶体管T11以及一储存晶体管T10,开关晶体管T11栅极连接至字元线WL1,其第一源/漏端连接至位元线BL1;储存晶体管T10栅极连接至控制线CL1,其第一源/漏端连接至开关晶体管T11的第二源/漏端,其第二源/漏端为浮接。
举例来说,于编程第一记忆胞110时,提供0V信号至位元线BL0、3.3V信号至字元线WL0、6.5V信号至控制线CL0。则开关晶体管T01开启(turnon),并造成储存晶体管T00的栅极氧化层被破坏,使得储存晶体管T00的栅极与第一源/漏端之间呈现短路的低电阻的特性。因此,第一记忆胞110可视为一第一储存状态。
另外,于编程第二记忆胞120时,提供0V信号至位元线BL1、3.3V信号至字元线WL1、0V信号至控制线CL1。则开关晶体管T11开启(turn on),而储存晶体管T10的栅极氧化层不会被破坏,使得储存晶体管T10的栅极与第一源/漏端之间呈现开路的高电阻的特性。因此,第二记忆胞120可视为一第二储存状态。
请参照第1C图,其所绘示为现有OTP存储器编程后的记忆胞等效电路示意图。经由上述的方式编程后,第一记忆胞110中的储存晶体管T00可等效为一电阻,其具有低电阻的特性,可视为第一储存状态。而第二记忆胞120中的储存晶体管T10可等效为一电容,其具有高电阻的特性,可视为第二储存状态。
请参照第2A图与第2B图,其所绘示为另一OTP存储器的记忆胞及其等效电路示意图。第2A图与第2B图中包括两个记忆胞210、220,每个记忆胞210、220中具有一个晶体管,可称为1T记忆胞。
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