[发明专利]熔石英光学元件激光修复装置及修复方法有效
| 申请号： | 201410164892.9 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103978306A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 马平;鄢定尧;吕亮 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 光学 元件 激光 修复 装置 方法 | ||
1.一种熔石英光学元件激光修复装置，包括依光路走向设置的激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）、光束会聚透镜（5）和元件位移平台（6）；能量调节单元（2）与光束调节单元（3）之间设有一级反射镜（4）；光束调节单元（3）与光束会聚透镜（5）之间设有二级反射镜（12）；光束会聚透镜（5）与元件位移平台（6）之间设有三级反射镜（13）；其特征在于，激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）由系统控制单元（9）控制；系统控制单元（9）与元件位移平台（6）之间设有监控单元（8）；元件位移平台（6）上设有托架（7）；托架（7）由底座（7-1）和与其螺旋连接的升降台（7-2）构成。
2.一种熔石英光学元件激光修复方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：
A．将待修复的熔石英元件（10）与熔石英片（11）按照丙酮、酒精、去离子水的步骤进行清洗，然后在烘干箱中烘干；
B．将熔石英元件（10）与熔石英片（11）放置于托架（7）上，旋转升降台（7-2），调节其高度，确定熔石英片（11）与熔石英元件（10）之间的间隙；
C．打开激光器（1），由能量调节单元（2）与光束调节单元（3）控制输出激光的输出能量与光束质量，调节系统控制单元（9）的加工参数，采用定点辐照方式，使熔石英片（11）快速沉积在熔石英元件（10）上。
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