[发明专利]一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法

权利要求书

1.一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)将蓝宝石衬底置于脉冲激光溅射沉积系统的硅板加热器上，利用机械泵和分子泵抽真空，使系统真空度不低于10^-4Pa，然后关闭分子泵，通入氧气气氛，使氧气气压达到38-42Pa，维持稳定；

(2)调节系统光路，使激光束聚焦于氧化锌靶材，并且使等离子体羽辉能够均匀地覆盖衬底，靶材与衬底间的距离为60mm，设置薄膜沉积参数，沉积薄膜，使得薄膜的厚度为250-300nm；

(3)将沉积的本征氧化锌薄膜在室温下空气中进行激光辐照处理，通过调整激光的能量来调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型。

2.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：步骤(1)氧气气压达到40Pa。

3.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：步骤(2)薄膜的厚度为260nm。

4.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：步骤(2)沉积薄膜的激光能量为400mJ/pulse，重复频率为3Hz，沉积温度为室温。

5.按照权利要求4的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：沉积10000个脉冲沉积。

6.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：步骤(3)激光辐照能量分别为200、300、400、500、600和700mJ每个脉冲，脉冲数为100个。

7.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：所用蓝宝石衬底是Al₂O₃(0001)，并进行清洁处理：分别将衬底浸入丙酮、酒精及去离子水中，各超声清洗2～3次，每次5～10分钟，直至衬底表面干净，最后干燥备用。

8.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：溅射靶材为99.99％的氧化锌陶瓷，所用激光器是Lambda PhysikLPXpro型KrF准分子激光器，激光波长为248nm。

9.按照权利要求1的一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：步骤(3)连续调控激光的能量可得到氧化锌薄膜连续的不同类型的发光。