[发明专利]精密致动装置

权利要求书

1.一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：

第一移动部件(10)，具有在其内部形成的安装空间(101)；其中，所述第一移动部件具有上表面(102)和内侧面(103)，所述安装空间(101)从所述上表面(102)向所述第一移动部件(10)的内部凹入并朝向所述上表面(102)敞开，并且所述安装空间(101)的周边由所述内侧面(103)限定；

第一精密驱动机构(11)，与所述第一移动部件(10)传动连接，所述第一精密驱动机构(11)用于驱动所述第一移动部件(10)沿第一方向运动；

第二移动部件(20)和第二精密驱动机构(21)，布置且保持在所述安装空间(101)内，以便能够随所述第一移动部件(10)一起沿所述第一方向运动；其中，所述第二精密驱动机构(21)与所述第二移动部件(20)传动连接，用于驱动所述第二移动部件(20)在所述安装空间内沿不同于所述第一方向的第二方向运动；

在所述第一精密驱动机构(11)与所述第一移动部件(10)之间，和/或在所述第二精密驱动机构(21)与所述第二移动部件(20)之间，形成有导向限位结构(40)，用于引导所述第一和/或第二移动部件相对于对应的所述第一和/或第二精密驱动机构仅能够沿对应的第一和/或第二方向移动；

所述导向限位结构(40)包括：

导向槽(41)；

滑动块(42)，用于与所述导向槽(41)相配合并设置在所述导向槽(41)中；

其中，所述第一和/或第二精密驱动机构形成有所述导向槽(41)和所述滑动块(42)中的一种，所述第一和/或第二移动部件形成有所述导向槽(41)和所述滑动块(42)中的另一种。

2.根据权利要求1所述的精密致动装置，其特征在于，所述第一移动部件(10)形成为扁平状块体并基本上处于由具有一厚度的延伸平面所构成的延伸空间内；其中，所述第一移动部件(10)沿所述第一方向的运动位于所述延伸空间内。

3.根据权利要求2所述的精密致动装置，其特征在于，所述第二移动部件(20)形成为扁平状块体并基本上在所述延伸空间内延伸；其中，所述第二移动部件(20)沿所述第二方向的运动位于所述延伸空间内。

4.根据权利要求3所述的精密致动装置，其特征在于，所述第一精密驱动机构(11)和第二精密驱动机构(21)位于所述延伸空间内。

5.根据权利要求2所述的精密致动装置，其特征在于，所述第一方向是第一直线方向；并且，

所述第二方向是与所述第一直线方向在同一平面内相互垂直的第二直线方向，或者是绕与所述延伸平面垂直的旋转轴线在所述延伸空间内进行旋转的的旋转方向。

6.根据权利要求1所述的精密致动装置，其特征在于，所述第一和/或第二移动部件仅被对应的第一和/或第二精密驱动机构借助所述导向限位结构可移动地保持。

7.根据权利要求1所述的精密致动装置，其特征在于，形成在所述第一和/或第二精密驱动机构处的所述导向槽(41)或所述滑动块(42)同时形成为所述第一和/或第二精密驱动机构的用于致动对应的所述第一和/或第二移动部件的致动头。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的精密致动装置，其特征在于，还包括弹性元件(30)，用于产生将所述第一精密驱动机构(11)压靠至所述第一移动部件(10)的弹力。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的精密致动装置，其特征在于，所述第二精密驱动机构(21)安装并保持在所述第一移动部件(10)的所述内侧面(103)处。

10.根据权利要求9所述的精密致动装置，其特征在于，所述安装空间(101)包括在所述内侧面处形成的安装凹槽(104)，所述安装凹槽(104)用于容纳并保持所述第二精密驱动机构(21)；所述安装凹槽(104)在背向所述内侧面(103)的方向上开口，所述第二精密驱动机构(21)的一部分伸出所述安装凹槽(104)以保持所述第二移动部件(20)。

11.根据权利要求10所述的精密致动装置，其特征在于，所述安装凹槽(104)的一部分朝向所述第一移动部件(10)的所述上表面(102)的方向敞开。