[发明专利]压印方法、压印装置和制造物品的方法

权利要求书

1.一种通过使用具有其上形成有标记的图案表面的模具在基板上形成压印材料的图案的压印方法，所述方法包括：

变形步骤，所述变形步骤通过向模具施加第一作用力将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状使得模具能够从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；

获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向、从图案表面变形之前的模具上的标记的位置偏移了多少；

检测步骤，所述检测步骤在图案表面在变形步骤中被变形的同时检测模具上的标记和基板上的对应标记，并根据检测结果获取模具上的标记和基板上的对应标记之间的相对位置；以及

对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形的同时利用所述偏移量和所述相对位置将模具和基板对准，以使得在图案表面的变形已经变小并且因此偏移量也已经变小时模具上的标记和基板上的标记彼此对准；

其中所述方法还包括：测量步骤，所述测量步骤在改变施加至模具的第一作用力的同时测量偏移量，并获取表示第一作用力和偏移量之间的对应关系的信息；

其中在获取步骤中，根据施加至模具的作用力从所述信息中获取偏移量。

2.一种通过使用具有其上形成有标记的图案表面的模具在基板上形成压印材料的图案的压印方法，所述方法包括：

变形步骤，所述变形步骤通过向模具施加第一作用力将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状使得模具能够从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；

获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向、从图案表面变形之前的模具上的标记的位置偏移了多少；

检测步骤，所述检测步骤在图案表面在变形步骤中被变形的同时检测模具上的标记和基板上的对应标记，并根据检测结果获取模具上的标记和基板上的对应标记之间的相对位置；以及

对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形的同时利用所述偏移量和所述相对位置将模具和基板对准，以使得在图案表面的变形已经变小并且因此偏移量也已经变小时模具上的标记和基板上的标记彼此对准；

其中所述方法还包括：测量步骤，所述测量步骤在改变施加至模具的第一作用力的同时测量所述偏移量和图案表面的变形量，并获取表示变形量和偏移量之间的对应关系的信息；

其中在获取步骤中，根据变形量从所述信息中获取偏移量。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中在变形步骤中施加至模具以将模具变形的第一作用力随着模具从图案表面的中心部向外跟压印材料逐渐形成接触而减弱。

4.如权利要求1所述的方法，其中在模具跟压印材料逐渐形成接触的同时，从所述信息中依次获取跟施加至模具的第一作用力相对应的偏移量，并且利用依次获取的偏移量和所述相对位置来将模具和基板对准。

5.如权利要求1所述的方法，其中为了在测量步骤中获取所述信息，设置在其上设置基板的基板台上的基准板的标记在图案表面尚未变形的同时被设置在模具上的标记下方，并且基准板的标记的位置与由于图案表面变形而已经偏移的模具上的标记的位置之间的差异被测量作为偏移量。

6.如权利要求1或2所述的方法，其中获取步骤、检测步骤和对准步骤在图案表面的中心部跟压印材料形成接触之前执行。

7.如权利要求1或2所述的方法，其中获取步骤、检测步骤和对准步骤在从中心部跟压印材料形成接触时直到模具的整个图案跟压印材料形成接触为止的时间段期间执行。