[发明专利]光学非破坏检查装置以及光学非破坏检查方法

权利要求书

1.一种光学非破坏检查装置，其包括：

聚光准直装置，其使沿着光轴从第一侧入射的平行光从第二侧射出，并朝向作为焦点位置设定在测定对象物上的测定点聚光，并且将从所述测定点放射以及被反射而从第二侧入射的光变换为沿着光轴的平行光，使所述平行光从第一侧射出；

加热用激光源，其射出以不破坏测定对象物的方式加热测定对象物的激光；

加热用激光导光装置，其将所述加热用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；

红外线检测器，其能够检测出从所述测定点放射的红外线；

放射红外线导光装置，其从自所述测定点放射且自所述聚光准直装置的第一侧射出的平行光中将规定红外线波长的红外线向所述红外线检测器引导；

第一修正用激光源，其射出第一修正用激光，所述第一修正用激光与所述加热用激光相比输出功率小且波长不同；

第一修正用激光导光装置，其将从所述第一修正用激光源射出的所述第一修正用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；

第一修正用激光检测器，其能够检测出被所述测定点反射的所述第一修正用激光；

第一反射激光导光装置，其将被所述测定点反射并从所述聚光准直装置的第一侧射出的所述第一修正用激光向所述第一修正用激光检测器引导；

第二修正用激光源，其射出第二修正用激光，所述第二修正用激光与所述加热用激光相比输出功率小且波长不同；

第二修正用激光导光装置，其将从所述第二修正用激光源射出的所述第二修正用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；

第二修正用激光检测器，其能够检测出被所述测定点反射的所述第二修正用激光；

第二反射激光导光装置，其将被所述测定点反射且从所述聚光准直装置的第一侧射出的所述第二修正用激光向所述第二修正用激光检测器引导；以及

控制装置，

其中，

所述控制装置控制所述加热用激光源、所述第一修正用激光源以及所述第二修正用激光源，并且基于来自所述红外线检测器的检测信号、来自所述第一修正用激光检测器的检测信号以及来自所述第二修正用激光检测器的检测信号，对与加热时间对应的所述测定点的温度上升状态亦即温度上升特性进行测定，基于测定出的所述温度上升特性判定测定对象物的状态。

2.根据权利要求1所述的光学非破坏检查装置，其中，

所述加热用激光导光装置构成为包括：

加热用激光准直装置，其配置于所述加热用激光源的附近，并将从所述加热用激光源射出的加热用激光变换为平行光；

加热激光用选择反射装置，其配置于所述聚光准直装置的光轴上，使所述加热用激光朝向所述聚光准直装置的第一侧反射，并且使从所述测定点放射以及被反射而从所述聚光准直装置的第一侧射出的平行光中的、波长与加热用激光的波长不同的光透过；或者，该加热激光用选择反射装置配置于所述聚光准直装置的光轴上，使所述加热用激光朝向所述聚光准直装置的第一侧透过，并且使从所述测定点放射以及被反射而从所述聚光准直装置的第一侧射出的平行光中的、波长与加热用激光的波长不同的光反射。

3.根据权利要求2所述的光学非破坏检查装置，其特征在于，

所述放射红外线导光装置构成为包括：

所述加热激光用选择反射装置；

规定红外线用选择反射装置，其配置于波长与加热用激光的波长不同的平行光的路径上，该平行光是从所述聚光准直装置的第一侧射出并透过所述加热激光用选择反射装置的平行光或者是被所述加热激光用选择反射装置反射的平行光，所述规定红外线用选择反射装置从所述平行光中使规定红外线波长的红外线朝向所述红外线检测器反射，并且使波长与规定红外线波长不同的平行光透过；或者，该规定红外线用选择反射装置配置于波长与加热用激光的波长不同的平行光的路径上，该平行光是从所述聚光准直装置的第一侧射出并透过所述加热激光用选择反射装置的平行光或者是被所述加热激光用选择反射装置反射的平行光，所述规定红外线用选择反射装置从所述平行光中使规定红外线波长的红外线朝向所述红外线检测器透过，并且使波长与规定红外线波长不同的平行光反射；以及

红外线聚光装置，其配置于所述红外线检测器的附近，使被所述规定红外线用选择反射装置反射或者透过了所述规定红外线用选择反射装置的规定红外线波长的平行光的红外线朝向所述红外线检测器进行聚光。