[发明专利]感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件

权利要求书

1.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，

所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，

所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下，

所述感光层的厚度小于20μm。

2.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.04μm以下。

3.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.03μm以下。

4.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.02μm以下。

5.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，

所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，

所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.5μm以下，

所述感光层的厚度小于20μm。

6.根据权利要求5所述的感光性元件，其中，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.4μm以下。

7.根据权利要求5所述的感光性元件，其中，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.35μm以下。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为1μm以上。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为5μm以上。

10.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为15μm以上。

11.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为100μm以下。

12.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为50μm以下。

13.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为35μm以下。

14.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述聚丙烯膜的厚度为30μm以下。

15.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为15μm以下。

16.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为10μm以下。

17.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为9μm以下。

18.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为8μm以下。

19.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为7μm以下。

20.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为1μm以上。

21.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为2μm以上。