[发明专利]波长锁定装置和薄膜滤波器

说明书

本发明公开了一种波长锁定装置和薄膜滤波器。该薄膜滤波器设置在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，分光器输出的光束通过薄膜滤波器进入第一探测器，其中光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内，薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，以提高波长锁定装置波长锁定精度。

技术领域

本发明涉及光通信技术领域，特别是涉及一种波长锁定装置和薄膜滤波器。

背景技术

请参见图1，图1是现有技术中波长锁定装置的结构示意图。如图1所示，现有技术所揭示的波长锁定装置10包括：分光器11、第一探测器12、第二探测器13以及以太龙(Etalon)14。其中，以太龙14设置在第一探测器12和分光器11之间。分光器11将一输入光分为第一光束A和第二光束B，第一光束A通过以太龙14进入第一探测器12，第一探测器12探测通过以太龙14的第一光束A的光功率，第二探测器13接收第二光束B，并探测第二光束B的光功率，波长锁定装置10根据第一探测器12和第二探测器13所探测的结果来实现波长的锁定。

但是，现有技术所揭示的以太龙14采用固体以太龙，以太龙14存在温度漂移，即以太龙14的传输曲线会随温度的漂移而漂移，进而影响波长锁定装置10的波长锁定精度。如图2所示，曲线C为以太龙14漂移前的传输曲线，曲线D为以太龙14漂移后的传输曲线。此外，以太龙14的波长温度敏感性为1GHz/度，则波长锁定装置10的波长锁定精度为1GHz，因此波长锁定装置10的波长锁定精度低。

发明内容

本发明实施例提供了一种波长锁定装置和薄膜滤波器，以解决现有波长锁定装置的波长锁定精度低的问题。

第一方面提供一种薄膜滤波器，其设置在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，分光器输出的光束通过薄膜滤波器进入第一探测器，其中光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内，薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，以提高波长锁定装置波长锁定精度。

结合第一方面的实现方式，在第一种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的增透膜，第二表面与第一表面相对设置，增透膜用于减少光束的反射。

结合第一方面的第一种实现方式，在第二种实现方式中，薄膜滤波器的波长温度敏感性小于0.1GHz/度，波长锁定装置的波长锁定精度为0.1GHz。

结合第一方面的实现方式，在第三种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的第二滤波薄膜，第二表面与第一表面相对设置，第二滤波薄膜的温度漂移方向与第一滤波薄膜的温度漂移方向相反。

结合第一方面的第三种实现方式，在第四种实现方式中，波长锁定装置的波长锁定精度为0.025GHz。

结合第一方面的实现方式，在第五种实现方式中，第一滤波薄膜的波长范围为1528nm-1565nm。

第二方面提供一种波长锁定装置，其包括分光器、第一探测器、第二探测器以及设置在分光器和第一探测器之间的薄膜滤波器，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，分光器将一输入光分为第一光束和第二光束，第一光束通过薄膜滤波器进入第一探测器，第二探测器接收第二光束，其中第一光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内，薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，以提高波长锁定装置波长锁定精度。

结合第二方面的实现方式，在第一种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的增透膜，第二表面与第一表面相对设置，增透膜用于减少第一光束的反射。

结合第二方面的第一种实现方式，在第二种实现方式中，薄膜滤波器的波长温度敏感性小于0.1GHz/度，波长锁定装置的波长锁定精度为0.1GHz。