[发明专利]一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构无效

专利信息
申请号: 201410169932.9 申请日: 2014-04-25
公开(公告)号: CN104056458A 公开(公告)日: 2014-09-24
发明(设计)人: 贺波;刘态铭;朱建凯;蒋秀英 申请(专利权)人: 中国振华集团永光电子有限公司
主分类号: B01D1/00 分类号: B01D1/00;B01D1/30
代理公司: 贵阳中新专利商标事务所 52100 代理人: 刘楠
地址: 550018 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 蒸发 设备 冷却水 系统 失效 改造 方法 结构
【权利要求书】:

1. 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法,其特征在于:该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱,以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体,提高蒸发设备的抽速,提高系统真空度。

2.根据权利要求1所述方法,其特征在于:所述冷阱底部设有油分子挡板,通过油分子挡板减少扩散泵返油造成的真空室污染。

3.根据权利要求1所述方法,其特征在于:所述冷阱的形状底部直径大于顶部直径的螺旋管,冷却水从冷阱底部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出,通过冷却水使冷阱始终处于低温状态,加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。

4.一种根据权利要求1-3任一权利要求所述方法构成的蒸发设备结构,包括蒸发设备的筒体(4),其特征在于:在筒体(4)的下方设有加热器(7),筒体(4)底部装有硅油(1),硅油(1)液面以上的筒壁上设有排气口(2),筒体(4)内设有蒸汽导管(3),蒸汽导管(3)顶部设有喷嘴(5),筒体(4)的外壁设有冷却水管(6);所述蒸汽导管(3)与筒体(4)之间设有冷阱(8)。

5.根据权利要求4所述蒸发设备结构,其特征在于:所述排气口(2)以上的筒体(4)内壁设有油分子挡板(9),冷阱(8)坐落在油分子挡板(9)上。

6.根据权利要求5所述蒸发设备结构,其特征在于:所述冷阱(8)的形状为底大顶小的螺旋管,冷阱(8)底端设有进水口(10),冷阱(8)顶端设有出水口(11)。

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