[发明专利]一种防止二极管管芯台面被污染的方法在审
申请号: | 201410170033.0 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN104064447A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 袁锟;王智;姚俊;赵志云 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/329 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 刘楠 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 二极管 管芯 台面 污染 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种防止二极管管芯台面被污染的方法,属于二极管制造技术领域。
背景技术
二极管是电子行业使用最广泛的一种电子元件,为了确保二极管的质量,在制造过程需要对扩散后的硅片进行电压检测“打点”,“打点”后在硅片上形成管芯台面,管芯台面是二极管的核心,若被污染则会影响二极管的质量,因此需要在管芯台面生成保护层以防止被污染。现有的保护层生成方法工艺复杂,所用时间较长,成本高。并且现有技术需要抽取样片进行表面金属化→芯片裂片→焊接→台面腐蚀→台面钝化等后部工序,才能对击穿电压进行检测,因此,现有的防止二极管管芯台面被污染的方法不仅存在着工艺复杂、所用时间较长、成本高的问题,而且还存在着工序多、质量不易保证的问题。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种防止二极管管芯台面被污染的方法,以简化生产工艺,缩短生产周期,降低生产成本,从而克服现有技术的不足。
本发明的技术方案:
一种防止二极管管芯台面被污染的方法,该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后,将适量固态石蜡放在管芯台面上,而后将硅片水平放入烘箱加热,使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源,使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态,通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触,以达到防止管芯台面被污染的目的。
前述方法中,所述将适量固态石蜡放在管芯台面上,其适量是指石蜡由固态变为液态后可以布满整个管芯台面并不会从管芯台面溢出为准。
前述方法中,所述石蜡采用含杂质较少的白蜡。
由于采用了上述技术方案,本发明与现有技术相比,本发明采用石蜡保护层替代现有保护层,大大简化了加工工艺,有效地避免了原有工艺工序多、时间长、成本高的不足,并且本发明还有效地简化了生产工艺、缩短了生产周期、大大降低了生产成本。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的详细说明,但不作为对本发明的任何限制。
实施例
本发明的一种防止二极管管芯台面被污染的方法为,该方法是在现有的硅片“打点”工艺形成管芯台面后,将适量固态石蜡放在管芯台面上,石蜡采用现有技术中的含杂质较少的白蜡;而后将硅片水平放入烘箱加热,使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源,使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态,通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触,以达到防止管芯台面被污染的目的。所述将适量固态石蜡放在管芯台面上,其适量是指石蜡由固态变为液态后可以布满整个管芯台面并不会从管芯台面溢出为准。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造