[发明专利]组装品表面异物的测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种组装品表面异物的测量装置，其特征在于，包括异物收集盒、可旋转地设置中在异物收集盒内的支撑架，设置在所述的异物收集盒外部并可驱动所述的支撑架旋转的驱动机构，以及粒子计数器，所述的异物收集盒顶部形成有进气孔，底部形成有测定孔，所述的粒子计数器与所述的测定孔经管路连通。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述的异物收集盒底部呈锥形，所述的测定孔设置在锥形的底部顶角处。

3.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述的异物收集盒的顶板与所述的异物收集盒的盒体铰接，同时在所述的顶盖上或盒体上设置有密封条。

4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述的驱动机构为摇杆。

5.一种采用如权利要求1所述的测量装置测量异物的方法，其特征在于，包括以下步骤，

1)将测量装置放置在Class10以下洁净的空间，将粒子计数器与异物收集

盒连接，然后对异物收集盒进行清扫，直至测试异物收集盒空转时洁净度时

测试结果全部为零，

2)将待检测组装品的零部件分别固定在洗净的夹具板中，并记录组装品个数N；

3)将装有待测产品的夹具板固定放置于异物收集盒内部的支撑架上，

4)用洁净气体对着异物收集盒上方气孔进行吹风，

5)启动粒子计数器的同时，以每分钟20-40转的转速转动侧面摇杆，使产品各表面充分接触气流以使异物掉落，

6)测定异物收集盒所排气体的洁净度，标记为A；

7)计算得到单个组装品表面异物数量(at0.5μm)＝A/N。