[发明专利]一种Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节及其制备方法

权利要求书

1.一种Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)钛合金人工骨关节的辉光清洗：当腔室本地真空达到1×10^-4～8×10^-4Pa时，通入氩气并通过气体流量计控制氩气气压在1.2～3.2Pa，衬底温度100～300℃，开启基体偏压在700～1200V，对经过超声清洗的钛合金人工骨关节进行辉光清洗；

(2)金属层的沉积：辉光清洗结束后，偏压降到300～500V，开启多弧Cr金属靶控制电流在30～70A，沉积20～50纳米厚的Cr金属结合层；

(3)过渡层的沉积：金属层沉积结束后，关闭氩气，通入N₂并通过气体流量计控制N₂气压在0.4～1.5Pa，基体温度80～200℃，基体架转速5～10rpm，开启多弧Cr靶电流在40～60A，沉积100～300纳米厚的CrN过渡层；

(4)功能层的沉积：CrN过渡层沉积结束后，关闭氮气，通入氩气，通过气体流量计控制氩气气压在0.6～1.3Pa，调整基体温度在100～300℃，开启脉冲直流磁控溅射Mo靶并控制靶电流在3～6A，开启脉冲直流磁控溅射C靶并控制靶电流在5～10A，沉积800～2000纳米厚的Mo金属掺杂复合类金刚石涂层；

(5)冷却：沉积结束后，自然冷却，得到Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节。

2.根据权利要求1所述的一种Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节的制备方法，其特征在于：通过氧气反馈装置及残余气体测试装置精确控制沉积室的氧气含量。

3.根据权利要求1所述的一种Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节的制备方法，其特征在于：通过变温应力装置控制Mo金属掺杂复合类金刚石涂层钛合金人工骨关节在不同温度时的应力。