[发明专利]多个传感器间相互位置关系校准方法有效
申请号: | 201410171812.2 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN105005182B | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 马琳琳;杨志勇;孙刚 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 相互 位置 关系 校准 方法 | ||
1.一种多个传感器间相互位置关系校准方法,通过掩模对准传感器和基板对准传感器测量设置在工件台基准版上的基准标记,建立掩模对准传感器与基板对准传感器之间的位置关系,包括离线标定与在线标定,所述离线标定包括采用基板对准传感器对工件台基准版上的基准标记进行位置测量;所述在线标定包括离轴基线更新和同轴基线更新,所述离轴基线更新包括通过该基准标记上的第一标记对基板对准传感器进行位置标定;所述同轴基线更新包括通过该基准标记上的第二标记对掩膜对准传感器进行位置标定。
2.如权利要求1所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于,所述离线标定包括:
采用干涉仪分别对每个掩模对准传感器和每个基板对准传感器进行位置标定,建立掩模对准传感器、基板对准传感器与干涉仪之间的关系;
移动工件台,采用一个基板对准传感器依次对准工件台基准版上的基准标记,并标定每个基准标记相对于工件台的位置;
使第一标记同时对准所有基板对准传感器,从而标定所有基板对准传感器的位置。
3.如权利要求2所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于,所述离轴基线更新包括:将所有基板对准传感器同时对准第一标记,测得的工件台基准版的位置变化,并把在线测得的工件台基准版的位置变化补偿到所述基板对准传感器上。
4.如权利要求2所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于,所述同轴基线更新包括:移动掩模台和工件台到物镜阵列下,所有掩模对准传感器测量其各自对应的第二标记的像素值变化,进而更新所述基准标记的像素位置。
5.如权利要求1所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于,两掩模对准传感器间距与两基板对准传感器间距相同。
6.如权利要求1所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于,所述掩模对准传感器和基板对准传感器的排列方向相同,均与光刻机系统的扫描方向垂直。
7.如权利要求1所述的多个传感器间相互位置关系校准方法,其特征在于:所述第一标记和第二标记部分重合。
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