[发明专利]一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备

权利要求书

1.一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于：整套设备包括机架、多通道走带控制系统、加热系统、排气系统、加液系统、控制系统；多通道走带控制系统安装在机架上，包括两个主动轮及调速电机、测速轮、上滑轮组、下滑轮组，多通道走带控制系统的每个上、下滑轮组包括两个滑轮，方便调整相邻走带通道间距离，留出足够空间安装管式炉；加热系统安装在机架上，包括六个立式管式炉，每个管式炉有A、B、C三个独立加热区和热电偶，对通过的带材实施阶梯加热或者不加热；排气系统包括废气收集腔、排气管及室外排风扇；加液系统包括液槽、进液管、排液管,所述的液槽是分体式的，它包括槽体和盖子，盖子上留有带材通过的缝隙和滑轮支架通道，缝隙两边装有刮液片，调整刮液片可以控制带材上前驱液膜的厚度；走带时，两个主动轮同时工作，一个主动轮以较大力矩带动带材走动，另一个主动轮给以相反方向的较小力矩，使带材在走动过程中保持一定张力，测速轮把精确测到的速度反馈给控制系统，控制系统及时调整主动轮的速度，使带材走动过程中保持匀速，带材绕过多组上滑轮组、下滑轮组，实现多通道重复镀膜。

2.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，所述多通道走带控制系统的测速轮与带材不发生滑动摩擦，把精确测到的速度反馈给控制系统，控制系统及时调整主动轮的速度，使带材走动过程中保持匀速。

3.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，所述多通道走带控制系统的上、下滑轮组相互配对，形成带材镀膜的多通道。

4.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，管式炉内壁是石英管。

5.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，所述排气系统包括废气收集腔、排气管及室外排风扇，使前驱液挥发、分解的废气排到室外废气处理系统。

6.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，用于制造排气管及室外排风扇的材料抗腐蚀，用于制造废气收集腔的材料透明、抗腐蚀。

7.如权利要求1所述的一种柔性金属带材表面快速化学溶液平坦化设备，其特征在于，所述加液系统包括液槽、进液管、排液管，保证液槽中前驱液完全浸没金属带材。