[发明专利]一种机械能与电能转换装置

权利要求书

1.一种机械能与电能转换装置，包括制有纳米级流体通道的片状半导体衬底，其特征在于：所述半导体衬底安置在充斥电解液的腔体中，所述腔体具有分别与半导体衬底两面相对且受压后可相对半导体衬底移动的第一表面和第二表面；所述半导体衬底的两面将腔体分隔，所述第一表面和第二表面分别与连接电源正、负极的正、负外电极板固连。

2.根据权利要求1所述的机械能与电能转换装置，其特征在于：所述半导体衬底为厚度0.5-0.7mm片状硅基晶圆制成的硅基衬底。

3.根据权利要求2所述的机械能与电能转换装置，其特征在于：所述硅基衬底上分布半径0.05-0.30mm的圆柱型微型凹腔，所述凹腔腔底的厚度为40nm-1um，间隔分布有纳米级流体通道。

4.根据权利要求3所述的机械能与电能转换装置，其特征在于：所述纳米级流体通道为半径为5±2nm的纳米孔。

5.根据权利要求4所述的机械能与电能转换装置，其特征在于：所述电解液为KCL或NaCL溶液。

6.根据权利要求5所述的机械能与电能转换装置，其特征在于：所述电解液的浓度为0.5-1.3mol/L，Ph值为7.5-8.1。