[发明专利]一种等离子体处理的工艺控制方法及装置

权利要求书

1.一种等离子体处理的工艺控制方法，其特征在于，包括：

获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；

通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；

将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；

根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表。

4.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，，还包括：

获取所述工艺组态监控设备根据所述工艺操作状态实时信息生成的至少一个统计图表；

通过基于所述OPC协议的数据通讯，将所述获取的至少一个统计图表发送给所述工艺流程参数管理表。

6.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息之后，还包括：

指示所述工艺流程参数管理表实时存储所述工艺操作状态实时信息以备监控人员分析改进工艺操作过程。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

当所述工艺流程参数管理表中包括至少两批工艺数据时，接收监控人员通过所述工艺参数管理表提供的下拉菜单所选择的控制指令；

通过基于OPC协议的数据通信，将所述控制指令进行封装后发送给所述工业组态监控设备使工艺设备根据所述控制指令处理所述控制指令指示批次的工艺数据；

其中，所述控制指令包括运行或停止某个批次的工艺数据。

8.一种等离子体处理的工艺控制装置，其特征在于，包括：

工艺数据获取模块，用于获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；

工艺数据发送模块，用于通过基于OPC协议的数据通讯，对所述工艺数据获取模块获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括：

工艺操作状态实时信息获取模块，用于在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下实际工艺参数；

对比模块，用于将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；

控制模块，用于根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。

10.如权利要求8或9所述的装置，其特征在于，所述工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表；

所述工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。