[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

移动单元，将第五位置的基板移动至第一位置；

对齐单元，确认从上述第一位置移送至第二位置的上述基板的对齐状态；

检查单元，检查从上述第二位置移送至第三位置的上述基板的通电状态；

卸载单元，卸载从上述第三位置移动至第四位置的上述基板并将卸载的上述基板移动至第六位置；

转位单元，进行旋转运动并按通过上述旋转运动形成的虚拟的同心圆上的上述第一位置、上述第二位置、上述第三位置及上述第四位置的顺序移送上述基板；

第一装载单元，设置于上述移动单元的上游并装载上述基板；及

第一辅助单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至上述转位单元，

当将装载于上述第一装载单元的上述基板中位于最上层的基板定义为最上层基板时，

至少在上述第一辅助单元移动上述最上层基板的时间点上，上述最上层基板的高度不受装载于上述第一装载单元的基板的数量而固定。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

在xyz空间中，上述移动单元的自由度包括x轴自由度、z轴自由度、以z轴为旋转轴的旋转运动的r_z自由度；

在xyz空间中，上述对齐单元的自由度包括x轴自由度、y轴自由度；

在xyz空间中，上述检查单元的自由度包括x轴自由度、y轴自由度、z轴、以z轴为旋转轴的旋转运动的r_z自由度；

在xyz空间中，上述卸载单元的自由度包括x轴自由度、z轴自由度；

在xyz空间中，上述转位单元的自由度包括以z轴为旋转轴的旋转运动的r_z自由度。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

包括清洁单元，清洁装载于上述第一装载单元的上述基板的检查面并将经清洁的上述基板移动至上述第五位置。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：当上述第一辅助单元移动第一高度的基板，则上述第一装载单元将第二高度的基板下降之后再上升至第一高度。

5.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：上述第一辅助单元在移动装载于上述第一装载单元的基板之后，上升第一距离之后，在比第一距离短的第二距离区间中进行往复运动。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

上述转位单元，包括：

搁置部，在其中央形成孔并在上述孔的端部放置基板；

握紧部，固定放置于上述搁置部的基板；

并包括辅助板，该辅助板设置于上述第一位置，在上述基板移动至上述搁置部时上升而通过上述孔与上述基板接触。

7.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元在xyz空间上，利用x轴自由度和y轴自由度补正经上述对齐单元确认的上述基板的x轴对齐误差和y轴对齐误差。

8.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元通过沿z轴方向移动而与xy平面的上述基板接触，且在上述z轴方向，z₁位置的移动速度比z₂位置移动速度小，其中z₁位置比z₂位置离上述基板近。

9.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元利用与上述基板的一面接触的第一检查部和与上述基板的另一面接触的第二检查部对上述基板的通电状态进行检查。

10.根据权利要求9所述的检查装置，其特征在于：初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部的自由度数量和上述第二检查部的自由度数量不同。

11.根据权利要求9所述的检查装置，其特征在于：其中，在初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部具有z轴自由度、以z轴为旋转轴的旋转运动的r_z自由度，而上述第二检查部具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及以z轴为旋转轴的旋转运动的r_z自由度。