[发明专利]电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置

权利要求书

1.一种电容变换器，包括：

包含多个单元的元件，所述多个单元被支撑，使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，

其中，元件端部中的单元的一对电极之间的距离大于元件中间部分中的单元的一对电极之间的距离。

2.根据权利要求1的电容变换器，其中，元件端部中的单元的振动膜片的弹簧常数小于元件中间部分中的单元的振动膜片的弹簧常数。

3.根据权利要求1的电容变换器，其中，元件端部中的单元的振动膜片的恢复力和静电力之和与元件中间部分中的单元的振动膜片的恢复力和静电力之和相等。

4.一种探测器，包括根据权利要求1至3中任一项的电容变换器。

5.一种对象信息获取装置，包括：

根据权利要求1的电容变换器；以及

处理部件，在所述处理部件中，使用由于从对象传播的声波入射于振动膜片上而从电容变换器输出的电信号，来获取与对象内部有关的特性信息。

6.根据权利要求5的对象信息获取装置，还包括发送部件，利用所述发送部件，通过向所述一对电极施加电压而使振动膜片振动来导致声波的发送，

其中，声波是发送的声波从对象内部的反射。

7.根据权利要求5的对象信息获取装置，还包括光源，

其中，声波是从照射有来自光源的光的对象产生的光声波。

8.一种电容变换器的制造方法，所述电容变换器包括元件，所述元件包括多个单元，

所述方法包括以下步骤：

形成多个第一电极；以及

形成能够振动并包含分别与所述多个第一电极成对的多个第二电极的振动膜片，以由此形成多个包含一对的第一电极和第二电极的单元，

其中，在形成的步骤中，元件端部中的单元中的第一电极与第二电极之间的距离大于元件中间部分中的单元中的第一电极与第二电极之间的距离。