[发明专利]一种测试电沉积应力的方法

权利要求书

1.一种测试电沉积应力的方法，包括以具有金属表面的布拉格光纤光栅传感器为阴极进行电沉积过程；获得随电沉积时间T变化的所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量；获得随电沉积镀层厚度d变化的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度；将所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量乘以所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度的倒数即得电沉积应力。

2.如权利要求1所述的方法，包括将所述电沉积时间T分成N个时间段t₁,t₂.....t_i...t_N(i=1,2,...N)，每个时间段间隔s₀秒；获得每一个时间段t_i的布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量Δλ_i(t_i)；由所述具有金属表面的布拉格光纤光栅传感器的平均电沉积速度得到第i时间段的电沉积镀层的厚度d_i(t_i)；基于所获得的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度ε与电沉积镀层的厚度d的关系得到电沉积镀层厚度为d_i(t_i)时的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度ε(d_i)；将时间段t_i的布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量Δλ_i(t_i)乘以所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度ε(d_i)的倒数，即根据公式I计算第i时间段产生的电沉积应力：

公式I：σi(ti)=Δλi(ti)•1ϵ(di)]]>

根据公式II计算时间(T)的电沉积应力σ(T)：

公式II：σ(T)=Σi=1Nσi(ti)]]>。

3.如权利要求2所述的方法，当所述金属表面是镍磷合金，电沉积镀层是电沉积镍层时，所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度ε与所述电沉积镍层的厚度d的关系如下：

ε(d)=16.18958-0.71688d+0.03076d²

-6.57753×10^-4d³+5.2507×10^-6d⁴。

4.如权利要求1所述的方法，所述金属表面通过化学镀、离子溅射、气相沉积形成。

5.如权利要求1所述的方法，还包括对所述布拉格光纤光栅传感器进行预处理。

6.如权利要求5所述的方法，所述预处理包括对所述布拉格光纤光栅传感器进行敏化和活化。