[发明专利]用于测试磁场传感器的装置及其方法

说明书

提供一种用于测试磁场传感器的装置和方法，其中，该方法包括：布置线圈以产生磁场；使用线圈，将磁场施加到磁场传感器；以及检测施加到磁场传感器的磁场。

相关申请的交叉引用

本申请要求2013年7月29日在韩国知识产权局提交的第10-2013-0089664号韩国专利申请的权益，其全部公开通过引用结合到本文用于所有目的。

技术领域

下面的描述涉及磁场传感器测试装置和磁场传感器测试方法。

背景技术

“多轴磁场传感器”是指被配置成通过检测X、Y或Z轴上的磁场来感知方位角的传感装置(本文所用的“多轴”可以包括两个或三个轴)。

通常，需要直接将磁场施加到待感测的X、Y或Z轴，以测试多轴磁场传感器。因此，必须准备线圈(例如电感器)以施加磁场，然后，电流流过线圈以测试磁场传感器，同时根据预期幅度来改变磁场。

韩国专利申请号10-2006-0060666提出了一种使用二轴磁场传感器的装置来解决与三轴罗盘相关联的问题。

多轴磁场传感器可以在晶片上或封装中被测试。

为了在晶片上测试磁场传感器，通常需要将均匀磁场施加到晶片的多轴方向。因此，在X、Y和Z轴方向上分别需要线圈。特别需要使用比晶片更大的线圈以测试Z轴方向，还需要施加更大的磁场，因为感测磁场的范围增加。然而，将更大电力施加到线圈这样的需求通常会导致问题。

同时，为了在封装中测试传感器，通常使用插座。虽然该测试也针对X、Y和Z轴方向分别需要线圈，然而可以使用比晶片上测试所需线圈更小的线圈。然而，因为必须将封装中的磁场传感器放在插座中用于测试目的，所以需要分离的装置。此外，因为按顺序测试多个磁场传感器芯片，所以测试通常花费更长的时间且导致更高的成本。

发明内容

提供本发明内容以简化形式介绍系列构思，在下面的具体实施方式中将对其进一步描述。本发明内容不用于确定要保护的主题内容的关键特征或本质特征，也不用于帮助确定要保护的主题内容的范围。

在一个总的方面，用于测试晶片上的磁场传感器的方法包括：在晶片上布置配置成产生磁场的线圈；使用线圈，将磁场施加到磁场传感器；以及检测施加到磁场传感器的磁场。

磁场传感器可以被配置成检测具有多轴分量的磁场。

线圈可以具有比晶片的横截面面积更小的横截面面积。

该方法还可以包括在线圈区域内且在远离线圈中心点的距离处布置磁场传感器。

从磁场产生的磁场线和磁场传感器的表面之间的入射角可以小于90度。

响应于施加到磁场传感器的磁场被分成X、Y和Z轴分量，X、Y和Z轴分量可以具有相似的值。

晶片可以形成在探针卡上。

针可以连接到探针卡，并且远离线圈中心点朝向线圈的边布置。

该方法还可以包括在线圈区域外布置磁场传感器。

该方法还可以包括在除线圈中心点之外的线圈区域内的任何象限上布置磁场传感器。

该方法还可以包括在线圈区域内布置多个磁场传感器。

在另一总的方面，一种用于测试磁场传感器的装置包括：包括磁场传感器的晶片；以及被配置成产生磁场到磁场传感器的环形线圈，其中，磁场传感器放置在远离线圈中心点的距离处。

该装置还可以包括：包括环形线圈的探针卡；以及连接到探针卡的针，其中，连接到探针卡的针远离线圈中心点朝向线圈的边布置。

磁场传感器可以布置在远离线圈中心点的位置且朝向线圈的边布置。