[发明专利]一种异型像元结构探测器无效
| 申请号： | 201410182284.0 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN103968956A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王德江;王昱棠;姚园 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 异型 结构 探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种异型像元结构探测器，其特征在于，靶面上的像元沿着扫描方向上的长度，为现有探测器的靶面上的正方形像元的k倍；k为大于1的自然数。
2.根据权利要求1所述的异型像元结构探测器，其特征在于，k的数值为2。
3.根据权利要求1所述的异型像元结构探测器，其特征在于，k的数值为3。
4.根据权利要求1所述的异型像元结构探测器，其特征在于，k的数值为4。
5.根据权利要求1所述的异型像元结构探测器，其特征在于，k的数值为5。
6.根据权利要求1所述的异型像元结构探测器，其特征在于，k的数值为6。
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