[发明专利]一种MEMS加速度计

权利要求书

1.一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，其特征在于，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述集成电路分别与所述加速度敏感芯片以及所述温度传感器相电连接；所述加速度敏感芯片包括多个测量体；每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成有差分检测电容；所述梳齿结构为多组，多组梳齿结构分成第一部分和第二部分，第一部分梳齿结构与第二部分梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一部分梳齿结构中的一组和第二部分梳齿结构中的一组输出一电信号。

2.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，在其中一个所述测量体中，所述梳齿结构为四组，其中，在因加速度产生位移时，第一组梳齿结构、第二组梳齿结构与第三组梳齿结构、第四组梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一组梳齿结构和第二组梳齿结构输出一电信号，第三组梳齿结构和第四组梳齿结构输出一电信号。

3.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，在其中一个所述测量体中，所述梳齿结构为四组，其中，在膨胀或收缩时，第一组梳齿结构和第二组梳齿结构活动间隙变化方向相反，第三组梳齿结构和第四组梳齿结构活动间隙变化方向相反。

4.如权利要求2或3所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一组梳齿结构和所述第二组梳齿结构，以及所述第三组梳齿结构和所述第四组梳齿结构交叉设置在所述质量块的两端。

5.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，多个所述测量体通过竖质量块相互连接，形成质量块整体，其中，所述质量块整体外还设置有框架，所述质量块整体通过支撑梁与所述框架相连接，所述支撑梁设置在所述质量块整体的四个端角。

6.如权利要求5所述的MEMS加速度计，其特征在于，处于所述质量块两端的所述框架上设有防撞止挡，其止挡间隙为1～3微米。

7.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述基板为陶瓷基板。

8.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述温度传感器为微型铂电阻温度传感器。

9.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述集成电路通过检测所述温度传感器的温度变化，对所述电信号进行补偿。

10.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计还包括一管壳，所述管壳内设置有接线引脚；所述加速度敏感芯片通过管壳与所述集成电路相连接。

11.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述温度传感器通过导热胶与所述基板相连接。