[发明专利]一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器有效
| 申请号： | 201410183541.2 | 申请日： | 2014-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN103926218B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 顾德恩;侯剑章;王志辉;郭瑞;孙站红;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 等离子体 共振 高度 灵敏 折射率 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器，其特征在于：折射率传感器由多个折射率传感器单元组成，折射率传感器单元由自下而上依次设置的基底（1）、金属层（2）和亚波长的金属圆盘（3）组成；所述亚波长的金属圆盘（3）的直径为0.5~2.0微米，两相邻的折射率传感器单元上的相邻亚波长的金属圆盘（3）的中心距为亚波长的金属圆盘（3）直径的1/2~2倍；所述金属层（2）和亚波长的金属圆盘（3）是由金、银或铝及其它金属材料中的一种制成的；所述金属层（2）的厚度为50~200纳米，亚波长的金属圆盘（3）的厚度为50~200纳米。
2.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器，其特征在于：所述单个折射率传感器单元的横剖面为正方形，边长为1.5~4.0微米。
3.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器，其特征在于：所述基底（1）是由硅、氧化硅或石英玻璃材料中的一种制成，其厚度为0.5~5000微米。
4.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器，其特征在于：所述折射率传感器可工作于1~8微米的近红外波长范围内，对外界环境折射率的探测范围为1~5。
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