[发明专利]高效太阳能电池的金属化制造方法

权利要求书

1.一种高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步：对硅片进行抛光和清洗后，进行化学蚀刻和表面制绒；

第二步：在电池正反面同时进行磷掺杂，形成和制造出PN结；

第三步：去除表面的磷硅玻璃；

第四步：用管式扩散炉进行热氧化，加工形成钝化减反膜；

第五步：用PECVD经加工形成表面掩膜，然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形，并刷上一次薄银浆；

第六步：丝网印刷铝背场和背电极，然后进行背部烧结，使银硅金属材料合金化，即烧结银；

第七步：在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度，所使用替代金属为：电沉积银或者电沉积镍+铜+锡； 

第八步：对电池片进行退火，已消除应力；

第九步：完成电池片的功率测试，导电性测试，强度测试后，对完成电池片分选和包装。

2.如权利要求1所述的高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：第一步中，清洗采用化学喷淋清洗，并利用HF、HCL及添加剂合成的混酸对进行硅片清洗，清洗温度为25℃±5℃，清洗时间为：1 min-2min。

3.如权利要求1所述的高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：第四步中，表面减反膜是二氧化硅,其厚度为45μm±10μm。

4.如权利要求1所述的高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：第五步中，表面掩膜是氮化硅,其厚度为45μm±10μm。

5.如权利要求1所述的高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：第五步中，丝网印刷电池的银浆厚度为8μm±2μm。

6.如权利要求1所述的高效太阳能电池的金属化制造方法，其特征在于：第七步中，金属化电极处理的厚度为10μm±2μm；电池片电极总厚度为20μm±2μm。