[发明专利]一种光学精密系统的对准装置

权利要求书

1.一种光学精密系统的对准装置，用于所述光学精密系统中的第一物体和第二物体间的位置对准，其中，所述第一物体上设有第一对准标记，所述第二物体上设有第二对准标记，其中，所述装置包括：

照明系统，所述照明系统配置于所述第一物体前面，用于照明所述第一物体上的第一对准标记；

成像系统，所述成像系统配置于所述第一物体和第二物体之间，用于将所述第一物体上的第一对准标记成像在所述第二物体上；其中，所述第一对准标记在所述第二物体上的成像为第三对准标记；

观测系统，所述观测系统配置于所述第二物体后面，用于观测所述第二物体上的第二对准标记和所述第三对准标记构成的第一图像；

所述观测系统包括：

成像模块，所述成像模块位于所述第二物体后面，用于将所述第二物体上的第一图像成像到探测模块上；

聚束模块，所述聚束模块位于所述成像模块后面，用于将包含两组以上离散分布的对准标记的第一图像会聚后形成第二图像；

探测模块，所述探测模块位于所述聚束模块后面，用于探测所述第二图像；

处理模块，所述处理模块对探测模块探测到的第二图像进行处理后，就可以精确的确定第一物体和第二物体的位置关系；

所述第一对准标记图形与第二对准标记图形为任意两两互补的图形；

其中，所述第二物体为透射式物体；其中，所述成像模块根据所述对准标记的数量进行设置，所述成像模块为两组以上成像透镜，或者所述成像模块为两根以上成像光纤。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述聚束模块为两组以上相配合的斜方棱镜，或者所述聚束模块为两组以上相配合的反射镜组。