[发明专利]一种Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）将前驱体锌盐和掺杂剂溶解在有机溶剂中，再加入稳定剂，得到混合的溶液；

（2）将步骤（1）所制备得到的混合溶液置于水浴温度为55-85℃的恒温水浴中边加热边搅拌2-3h；

（3）将步骤（2）中制备好的溶液在室温下放置1-2天，制备得到均匀透明的ZnO溶胶；

（4）将衬底先后放入丙酮、乙醇、去离子水、乙醇中分别进行超声清洗30-60min，然后吹干保存在无水乙醇中备用；

（5）将步骤（3）制备好的ZnO溶胶滴加在步骤（4）中清洗好的衬底上，并以旋涂的方式进行镀膜，旋涂速度为1000r/min~3000 r/min；

（6）将步骤（5）所得镀膜后的衬底材料在空气中放置10min~30min，然后在120℃~180℃中干燥20~40min，取出在空气中自然冷却；

（7）重复步骤（5）和步骤（6）5-25次得到加热后的衬底材料；

（8）将步骤（7）所得加热后的衬底材料在250~320℃进行前期预处理10~40min，继续升温至450~550℃进行后期热处理1~4h，得到Cu-Al共掺杂ZnO薄膜。

2.根据权利要求1所述的Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，其特征在于：所述前驱体锌盐为有机锌盐或者无机锌盐，在混合的溶液中锌离子的摩尔浓度为0.5~2mol/L。

3.根据权利要求1所述的Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，其特征在于：所述溶剂为无水乙醇、乙二醇甲醚、异丙醇中的一种。

4.根据权利要求1所述的Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，其特征在于：所述稳定剂为二乙醇胺或单乙醇胺，在混合液中，二乙醇胺或单乙醇胺和锌离子的摩尔比为1:1。

5.根据权利要求1所述的Cu-Al共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法，其特征在于：所述掺杂剂为乙酸铜/硝酸铜和硝酸铝/氯化铝，其中Cu掺杂量为1%~10%，Al掺杂量为0.5%~5%。