[发明专利]一种离子注入样品台

权利要求书

1.一种离子注入样品台，其特征在于：包括密封板（1）、样品台底座（2）、第一步进电机（3）、样品板支架（4）、第二步进电机（5）、齿轮连接轴（6）、样品板（7）、金属棒（8）、抑制电极和计算机控制系统；

所述的密封板（1）上设置有束流插孔、电压插孔、第一步进电机（3）接线孔和第二步进电机（5）接线孔；

所述的密封板（1）与样品台底座（2）垂直固定连接，所述的第一步进电机（3）固定安装在所述的样品台底座（2）内，且与所述的计算机控制系统相连，其齿轮轴与所述的样品板支架（4）的托盘（11）背面相连，可带动所述的样品板支架（4）左右移动；

所述的金属棒（8）设置在所述的样品板支架（4）内，所述的样品板（7）一端背面的孔洞套住所述的金属棒（8）、另一端搁置在所述的齿轮连接轴（6）上，其背面连接的导线与所述的束流插孔相连；

所述的第二步进电机（5）固定在所述的样品板支架（4）的托盘（11）上，且与所述的计算机控制系统相连，其齿轮轴用于推动齿轮连接轴（6）的旋转，从而推动所述的样品板（7）旋转； 

所述的抑制电极是由带孔（13）的凹面金属底板（14）组成，且其开口将所述的样品板（7）正面包住，所述的抑制电极通过绝缘柱（15）与所述的样品台底座（2）固定连接，通过导线与所述的电压插孔相连。

2.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的样品台底座（2）由长方形金属平板（10）、四个小圆柱（9）组成，所述的四个小圆柱（9）成矩形固定在所述的长方形金属平板（10）上，用于支撑所述的样品板支架（4），并且保证所述的样品板支架（4）平衡。

3.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的样品板支架（4）由托盘（11）和设置于托盘（11）两侧的梯形绝缘体支架（12）组成，用于支撑所述的样品板（7）。

4.根据权利要求1、2或3所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的样品板支架（4）的托盘（11）为长方形金属板。

5.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的齿轮连接轴（6）由带有齿轮的圆形和长方体形绝缘体组成，与所述的样品板（7）绝缘。

6.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的样品板（7）上有刻痕，样品通过导电胶粘在所述的样品板（7）上，从左至右，依次排列。

7.根据权利要求1、5或6所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的样品板（7）为长方形金属板。

8.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的凹面金属底板（14）由金属底板和两相对金属板所围成。

9.根据权利要求1所述的离子注入样品台，其特征在于：所述的计算机控制系统，由LabVIEW软件程序控制所述的第一步进电机（3）和第二步进电机（5）的运行。