[发明专利]蒸镀装置

说明书

本发明公开一种蒸镀装置。蒸镀装置可包括：掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元包括：加压板，设置于所述基板的上部，且包括与所述基板的边缘位置对应的第一区域和除所述第一区域之外的第二区域；基板加压部件，位于所述第一区域，且朝所述基板突出，以对所述基板的上表面的边缘位置进行加压；多个突出部件，位于所述第二区域，且朝所述基板突出。

技术领域

本发明涉及蒸镀装置。

背景技术

最近，作为用于解决如阴极射线管(Cathode Ray Tube)的以往的显示装置的缺点的装置，平板显示装置(Flat Panel Display Device)被开发和推出，这样的平板显示装置有液晶显示装置(Liquid Crystal Display Device)、有机发光显示装置(Organic LightEmitting Diode Display Device)以及等离子显示器(Plasma Display Panel)等。

其中，有机发光显示装置不仅具有厚度薄、视角宽、响应速度快的优点，还具有因制造工艺简单而可实现低价格的优点。因此，最近这种有机发光显示装置作为平板型显示装置的一种而受到关注。

另一方面，随着最近的平板型显示装置趋于大型化，有机发光显示装置也变得大型化。然而，如上的大型化正引起各种新的问题。

有机发光显示装置通过在基板上蒸镀具有预定图案的膜(层)的工艺而制造。此时，前述蒸镀膜的工艺通过使形成有开口图案的掩模紧贴于基板的底面之后，从掩模的下部朝掩模侧蒸发有机物质或电极物质等来执行。因此，蒸发的蒸镀物质通过掩模的开口被蒸镀到基板上，从而基板上将形成具有预定图案的膜。

然而，在所述基板的尺寸较大的情况下，由于基板和掩模的自重(dead weight)，在掩模的中央部产生的弯曲变得显著。即便在对整个基板施加压力的情况下，基板的边缘位置上的基板与掩模之间的紧贴性也会下降，据此存在形成于基板的图案的精密度降低的问题。

发明内容

本发明所要解决的问题是提供一种在进行膜蒸镀工艺时可提高基板与掩模之间的紧贴性的蒸镀装置。

本发明的所要解决的问题不限于以上所提及的技术问题，关于没有提及的或其他的技术问题，本领域技术人员将从以下的记载中明确地理解。

用于解决上述问题的根据本发明的一个实施例的蒸镀装置可包括：掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元可包括：加压板，设置于所述基板的上部，且包括与所述基板的边缘位置对应的第一区域和除所述第一区域之外的第二区域；基板加压部件，位于所述第一区域，对所述基板的上表面的边缘位置进行加压；多个突出部件，位于所述第二区域，且朝所述基板突出。

用于解决上述问题的根据本发明的另一实施例的蒸镀装置可包括：掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧加压对所述基板的上表面，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元可包括：加压板，设置于所述基板的上部，且包括突出图案区域；多个第一突出部件，设置于所述突出图案区域的边缘位置，且朝所述基板突出；多个第二突出部件，设置于除设置有所述多个第一突出部件的部分之外的所述突出图案区域，且朝所述基板突出。

其他实施例的具体事项包含在详细的说明和附图中。

根据本发明的实施例，至少具有如下效果。