[发明专利]应变传感器

权利要求书

1.一种应变传感器，其具备：

基板，其具有柔软性；

CNT膜，其设置于所述基板的表面，且具有沿一个方向取向的多条CNT纤维；

一对电极，其设置于所述CNT膜的所述CNT纤维的取向方向的两端，

所述CNT膜具有由多条所述CNT纤维构成的多个CNT纤维束、以及包覆所述多个CNT纤维束的周面且与所述基板的所述表面接合的树脂层，

在所述CNT纤维束内的随机部位具有切断部位。

2.如权利要求1所述的应变传感器，其中，

所述CNT纤维束的内部未含浸所述树脂层。

3.如权利要求2所述的应变传感器，其中，

所述树脂层由水性乳胶形成。

4.如权利要求1～3中任一项所述的应变传感器，其中，

所述CNT纤维束具有将所述CNT纤维彼此在长度方向上连结的连结部。

5.如权利要求1～3中任一项所述的应变传感器，其中，

所述切断部位沿所述多个CNT纤维束的长度方向形成。

6.如权利要求1～3中任一项所述的应变传感器，其中，

所述CNT膜的膜厚为0.1μm以上50μm以下。

7.如权利要求1所述的应变传感器，其中，

所述CNT纤维束具有：含浸有所述树脂层的含浸部、以及围绕所述含浸部但不含浸所述树脂层的非含浸部。

8.一种应变传感器的制造方法，其包括：

在具有柔软性的基板的表面设置碳纳米管(CNT)膜的工序，所述碳纳米管(CNT)膜具有由沿一个方向取向的多条CNT纤维构成的多个CNT纤维束；

在所述CNT膜的所述CNT纤维的取向方向的两端形成一对电极的工序；

在所述CNT膜上形成树脂层，并使之包覆多个所述CNT纤维束的周面且与所述基板的表面密合的工序，

在所述CNT纤维束的随机部位形成切断部位的工序。

9.如权利要求8所述的应变传感器的制造方法，其中，

在所述CNT膜上形成树脂层的工序包括将水性乳胶涂布于所述CNT膜的工序，所述水性乳胶以形成所述树脂层的树脂为分散质。

10.如权利要求9所述的应变传感器的制造方法，其中，

所述CNT膜的膜厚为1μm以上50μm以下。

11.如权利要求8所述的应变传感器的制造方法，其中，

在所述CNT膜上形成树脂层的工序包括在水性乳胶中浸渍设置于所述基板的表面的所述CNT膜的工序，所述水性乳胶以形成所述树脂层的树脂为分散质。

12.如权利要求8～11中任一项所述的应变传感器的制造方法，其中，

在所述CNT纤维束的随机部位形成切断部位的工序如下进行：在所述基板的表面设置所述CNT膜的工序之后，使所述CNT膜沿所述CNT纤维的取向方向伸展。