[发明专利]基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器

权利要求书

1.一种基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器，其特征在于：该传感器由耐蚀壳体(1)，安装在耐蚀壳体(1)内的PDMS压阻传感单元(2)和不锈钢电容传感单元(3)组合而成；其中：

1) 耐蚀壳体(1)：包括中空的螺栓头(4)、不锈钢隔膜(5)、封盖(6)和螺母(7)依次装配成一个密闭的腔体；

2) PDMS压阻传感单元(2)：从下至上依次由绝缘膜(8)、PDMS压阻层(9)和下表面具有检测电极(13)的惰性橡胶上电极衬底(10)组成；PDMS压阻传感单元(2)的绝缘膜(8)安装在耐蚀壳体(1)的不锈钢隔膜(5)上；

3) 不锈钢电容传感单元(3)：从下至上依次由中心开孔的不锈钢薄膜极板(14)和后盾基板(15)组成；不锈钢电容传感单元(3)的不锈钢薄膜极板(14)安装在PDMS压阻传感单元(2)的惰性橡胶上电极衬底(10)上，耐蚀壳体(1)的封盖(6)下底面安装在不锈钢电容传感单元(3)的后盾基板(15)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器，其特征在于：所述PDMS压阻层(9)中心具有四片PDMS力敏感构件(12)，均呈75°的扇形，围成一个直径为3 mm的圆环；四片PDMS力敏感构件(12)为并联结构且通过电气回路(11)相互连接；惰性橡胶上电极衬底(10)下表面检测电极(13)的中心输入端T₀和四周的输出端T₁~T₄的电路与四片PDMS力敏感构件(12)构成四个压阻单元，形成并联回路。

3.根据权利要求1所述的一种PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器，其特征在于：所述中心开孔的不锈钢薄膜极板(14)作为不锈钢电容传感单元(3)的下极板，直径为10mm，薄膜极板厚度为100μm，中心开孔直径为5mm，中心开孔的深度为20μm。

4.根据权利要求1所述的一种PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器，其特征在于：所述后盾基板(15)作为不锈钢电容传感单元(3)的上极板，由在超高硬度的碳化钨衬底(17)下表面涂覆绝缘层(16)加工而成，绝缘层(16)朝向中心开孔的不锈钢薄膜极板(14)一侧。