[发明专利]一种类金刚石镀膜工件表面预处理工艺

权利要求书

1.一种类金刚石镀膜工件表面预处理工艺，所述工艺包括：白刚玉+棕刚玉混合干式喷砂、玻璃珠干式喷砂、超声波酸溶液清洗、自来水漂洗、超声波碱溶液清洗、自来水漂洗、一次超声波去离子水漂洗、二次超声波去离子水漂洗、烘干等九个步骤。

2.根据权利要求1所述的工艺，其中所述的白刚玉+棕刚玉混合干式喷砂中白刚玉和棕刚玉的粒径均为120目，白刚玉与棕刚玉质量比为7：3，玻璃珠干式喷砂时使用的玻璃珠粒径为200目，喷砂压力均为0.6MPa。所述玻璃珠干式喷砂的目的是为了去除嵌入在工件内部的白刚玉和棕刚玉颗粒。

3.根据权利要求1所述工艺，其中所述的的酸溶液是浓度0.5％左右盐酸溶液，超声波清洗时间均为30-60s，所述碱性溶液为浓度1％左右的汰渍洗衣粉溶液，超声波清洗时间均为15-20分钟。

4.根据权利要求1所述的工艺，其中所述的超声波去离子水漂洗中去离子水电阻率≥15MΩ.cm。