[发明专利]石墨烯电极的制备方法有效
申请号: | 201410193631.X | 申请日: | 2014-05-09 |
公开(公告)号: | CN104157560B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 杨连乔;冯伟;王子兴;张建华 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L21/28 | 分类号: | H01L21/28;H01L21/02 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙)31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 电极 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种电极制备方法,特别是一种稳定且导电性好的光电器件电极的制备方法,应用于光电器件制备技术领域。
背景技术
石墨烯是一种由碳原子紧密堆积成的单原子层的晶体,具有很多独特的性质,如高的比表面积、良好的热稳定性、优良的导热特性等。这些优异的性能使石墨烯在纳米电子器件、气体传感器、超级电容器和能量存储等领域有很好的应用前景。特别的,石墨烯在可见光波段极高的透过率及良好的电学与热传输性能,550nm时单层石墨烯理论透过率可达97.7%,使得其有潜力成为一种理想的透明导电材料。
近年来,采用石墨烯及其复合材料作为电极材料的研究很多,也取得了一定的效果,然而,需要指出的是,目前在绝缘衬底上制备高质量的石墨烯还存在一定的技术障碍。目前采用的方法大都是先制备出石墨烯或氧化石墨烯,再采用一定方法转移至目标衬底,石墨烯与衬底之间依靠范德华力结合,容易在后续的工艺中出现分离或脱落的现象,从而影响器件的性能。
发明内容
为了解决现有技术问题,本发明的目的在于克服已有技术存在的不足,提供一种石墨烯电极的制备方法,使石墨烯与基片通过化学键结合,有效的改善了石墨烯与衬底粘附不良和易分离脱落的问题,提高了石墨烯和衬底间的粘附性与电荷传输特性,从而保证所制备的光电器件的性能,提高光电器件制备的良品率,降低了生产成本。
为达到上述发明创造目的,本发明采用下述技术方案:
一种石墨烯电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
a. 将基片进行亲水处理;所述基片优选采用GaN外延片、硅片、玻璃片、氧化铝片、氧化铟锡片、掺氟氧化锌片、或其他柔性基片;所述亲水处理方法为强酸处理、强碱处理、双氧水处理和等离子体处理中的任意一种方法或任意几种方法的组合处理方法;
b.在基片上初步制备石墨烯电极层,使初步制备的石墨烯电极层与基片之间依靠范德华力结合在一起;作为在基片上初步制备石墨烯电极层的一种优选工艺,先制备出石墨烯,再将石墨烯转移至在上述步骤a中所得的基片上制备形成石墨烯薄膜,使石墨烯薄膜与基片之间依靠范德华力结合;作为在基片上初步制备石墨烯电极层的另一种优选工艺,先制备出氧化石墨烯,再将氧化石墨烯在上述步骤a中所得的基片结合,然后将氧化石墨烯还原为石墨烯,从而制备形成石墨烯薄膜,使石墨烯薄膜与基片之间依靠范德华力结合;作为在基片上初步制备石墨烯电极层的进一步优选工艺,石墨烯转移方法优选采用湿法转移、鼓泡法转移或热释放法;作为在基片上初步制备石墨烯电极层的一种更进一步优选工艺,首先在铜衬底上制备石墨烯薄膜,然后在所得铜衬底的石墨烯薄膜上旋涂一层PMMA,再烘干,然后置于硝酸铁水溶液中刻蚀去除铜衬底,再用去离子水中漂洗,然后用在上述步骤a中所得基片捞取,再进行真空干燥,最后用丙酮充分去除PMMA,再进行干燥,即在基片上初步制备了石墨烯电极层;作为在基片上初步制备石墨烯电极层的另一种更进一步优选工艺,首先将氧化石墨烯置于入去离子水中,制成氧化石墨烯分散液,然后使氧化石墨烯悬涂至在上述步骤a中所得的基片上,再进行真空干燥,得到具有氧化石墨烯薄膜的基片,然后将具有氧化石墨烯薄膜的基片在还原性气氛环境下进行加热还原,将氧化石墨烯薄膜还原成为石墨烯薄膜,即在基片上完成石墨烯电极层的初步制备;优选在基片上初步制备的石墨烯电极层具有1-10层单原子石墨层;
c.对在上述步骤b中制备的石墨烯电极层进行酸处理,获得石墨烯含氧基团,进而使石墨烯电极层与基片之间通过化学键强化结合,从而形成石墨烯电极;对在上述步骤b中制备的石墨烯电极层进行酸处理,优选通过控制酸的配方、浓度和酸处理时间,实现对石墨烯含氧基团含氧集团数量的控制,使石墨烯含氧基团的比例为1%-20%,进而获得石墨烯层内导电与界面电荷传输的平衡优化。
本发明与现有技术相比较,具有如下显而易见的突出实质性特点和显著优点:
1. 本发明通过分别对基片与石墨烯的表面处理实现了石墨烯与基片间的化学键结合,有效的改善了石墨烯与衬底粘附不良,易分离脱落的问题;
2. 本发明借助于化学键对电荷传输的辅助作用,优化石墨烯与基片间的电荷传输特性;
3. 本发明工艺简单,使得光电器件后续制备能够顺利进行,从而保证所制备的光电器件的性能,提高光电器件制备的良品率,降低了生产成本。
具体实施方式
本发明的优选实施例详述如下:
实施例一:
在本实施例中,一种石墨烯电极的制备方法,包括如下步骤:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海大学,未经上海大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410193631.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体结构的形成方法
- 下一篇:一种气压控制器
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造