[发明专利]一种精细线路的动态补偿制作方法在审
| 申请号： | 201410195513.2 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN104010445A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 冉彦祥;孟昭光 | 申请（专利权）人： | 东莞市五株电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523303 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精细 线路 动态 补偿 制作方法 | ||
1.一种精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，包括：
确定线路蚀刻后铜箔的设计宽度，再加宽铜箔的实际宽度，使得铜箔在设计宽度基础上增加动态补偿宽度；
将线路的形状转移到干膜上；
将铜箔的动态补偿宽度用蚀刻液蚀刻掉，使得蚀刻后铜箔的实际宽度等于设计宽度。
2.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，当所述动态补偿宽度影响相邻铜箔之间的最小间距时，则所述动态补偿宽度仅位于所述实际宽度的单侧。
3.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，当所述动态补偿宽度不影响相邻铜箔之间的最小间距时，所述动态补偿宽度分别位于所述设计宽度的两侧。
4.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述铜箔的实际宽度为50～60um，相邻铜箔之间的间距为50～60um。
5.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的BGA中间50/50um排线的动态补偿宽度为0um。
6.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的BGA中间50/50um单线的动态补偿宽度为5um。
7.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的独立50/50um线路的动态补偿宽度为16um。
8.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的空旷区50/50um线路的动态补偿宽度为10um。
9.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的排线边缘50/50um线路的动态补偿宽度为3um。
10.根据权利要求1所述的精细线路的动态补偿制作方法，其特征在于，所述精细线路的密集线路区50/50um线路的动态负补偿宽度为-2um。
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