[发明专利]缓蚀剂用组合物及其应用以及对设备进行酸洗的方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂用组合物，其特征在于，该缓蚀剂用组合物含有脲型缓蚀剂、促进剂、硫氰酸盐、肼型缓蚀剂和无机硅酸盐，其中，所述脲型缓蚀剂、促进剂、硫氰酸盐、肼型缓蚀剂和无机硅酸盐的重量比为1:0.25-4:0.25-5:1-8:0.025-0.6，优选为1:0.65-1.5:0.65-2:1.65-3.5:0.05-0.3。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述脲型缓蚀剂选自硫脲、N,N-二乙基硫脲、N,N-二邻甲苯基硫脲、N,N-二正丁基硫脲、尿素、氨基脲、氨基脲盐酸盐、1,3-二氨基脲、1,3-二氨基脲盐酸盐、1,3-二氨基硫脲、氨基硫脲、脒基脲、脒基硫脲中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述促进剂选自巯基苯并噻唑、2,2’-二硫代二苯并噻唑、4-甲基苯并三氮唑、5-甲基苯并三氮唑和苯并三氮唑中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述硫氰酸盐选自硫氰酸钠、硫氰酸钾和硫氰酸铵中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述肼型缓蚀剂选自水合肼、盐酸肼、硫酸肼和碳酸肼中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述无机硅酸盐为硅酸钾和/或硅酸钠。

7.一种对设备进行酸洗的方法，其特征在于，该方法包括将酸洗液与设备进行接触，所述酸洗液含有权利要求1-6中任意一项所述的缓蚀剂用组合物和酸。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，以所述酸洗液的总重量为基准，所述缓蚀剂用组合物的用量为0.05-5重量‰。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其中，所述酸为无机酸和/或有机酸，所述无机酸选自盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸和磷酸中的至少一种，所述有机酸选自氨基磺酸、柠檬酸、羟基乙酸、甲酸、乙二胺四乙酸、草酸、酒石酸、羟基亚乙基二膦酸、氨基三亚甲基膦酸、聚丙烯酸、聚马来酸、聚甲基丙烯酸、2-膦酰基丁烷-1,2,4-三羧酸、乙二胺四亚甲基膦酸、己二胺四亚甲基膦酸和二乙烯三胺五亚甲基膦酸中的至少一种。

10.权利要求1-6中任意一项所述的缓蚀剂用组合物在设备的酸洗中的应用。

11.根据权利要求10所述的应用，其中，所述设备的待酸洗部位的材质为碳钢、不锈钢、铜及其合金、铝及其合金中的至少一种。