[发明专利]一种蓝宝石长晶炉通气方法无效
| 申请号： | 201410197302.2 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103924299A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘世全;周显智;王展航 | 申请（专利权）人： | 深圳晶蓝地光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 长晶炉 通气 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石长晶炉通气方法，主要包括入气管道、出气口位置、气体类型，其特征在于：入气管道与籽晶夹持杆同轴，出气口位置在管道底端，气体包围着籽晶，所通的气体为氩气。
2.根据权利要求1所述的入气管道，其特征在于：所述入气管道与籽晶夹持杆同轴，管道穿过炉盖，管道底端与坩埚盖上表面齐平。
3.根据权利要求2所述的入气管道和夹持杆，其特征在于：所述入气管道所用材料为耐高温的钨或钼；所述籽晶夹持杆的上部所用材料为耐腐蚀的不锈钢，下部的籽晶夹头所用材料为耐高温的钨或钼。
4.根据权利要求1所述的出气口位置，其特征在于：出气口位置在管道底端，气体包围着籽晶，籽晶位置高度可调。
5.根据权利要求1所述的气体类型，其特征在于：所通的气体是氩气，也可以是其它惰性气体，如氦、氖、氪、氙、氡。
6.根据权利要求5所述的所通气体，其特征在于：所通气体的流量可控可调。
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