[发明专利]借助聚焦离子束的突出标记

权利要求书

1.一种在固态材料的经抛光小面的外表面上形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述方法包含步骤：

(i)朝向固态材料的经抛光小面的外表面施加聚焦惰性气体离子束局部辐射，以形成从所述抛光小面的外表面向外延伸的突起；

其中来自所述聚焦惰性气体离子束的所辐射聚焦惰性气体离子穿透所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面；以及

其中所辐射的聚焦惰性气体离子在一压力下造成所述固态材料在所述外表面下方的固态晶格内的膨胀应变以引起固态晶格的膨胀，且在所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面上形成突出部。

2.根据权利要求1所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述聚焦惰性气体离子束具有5keV到50keV的范围内的束能量和1fA到200pA的范围内的探测电流。

3.根据权利要求1所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述固态晶格呈单晶体或多晶体的形式。

4.根据权利要求2所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述固态晶格呈单晶体或多晶体的形式。

5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述固态材料是在环境温度和从大气到高真空的压力下呈固态形式的材料。

6.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述固态材料是宝石,选自包含钻石、红宝石、蓝宝石、翡翠、珍珠或玉的群组的材料。

7.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述聚焦惰性气体离子束是来自周期表的VIII族中的任何惰性气体的离子源。

8.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述固态材料的所述经抛光小面具有小于50nm的平均表面粗糙度。

9.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述突出部具有成纳米或微米数量级的平均宽度，以及成纳米或微米数量级的平均高度。

10.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，从所述固态材料的所述外表面到所述外表面下方的所辐射惰性气体累积的区域的距离在1nm到100μm的范围内。

11.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，提供所述一个或一个以上突出部以形成可识别的标记或图案。

12.根据权利要求11所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，所述可识别标记呈单个点或点阵列、柱、圆顶、半球或线的形式，其中可提供所述可识别标记作为周期性线阵列、孔/点阵列、圆形阵列、螺旋阵列、分形阵列或多个周期阵列。

13.根据权利要求11所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，提供所述可识别标记作为连续突出形状以形成任意图案。

14.根据权利要求12所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，提供所述可识别标记作为连续突出形状以形成任意图案。

15.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的形成一个或一个以上突出部的方法，其特征在于，形成多个突出部且为纳米尺寸，以便提供由于光学限制中的瑞利准则而对裸眼不可见的信息标记。