[发明专利]超分辨三维测量显微镜

权利要求书

1.超分辨三维测量显微镜，包括一干涉显微镜本体，其特征在于，所述干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块，所述照明模块的出射光朝向一生成不同相位初值的正弦结构光的结构光生成器，所述结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜，所述分光棱镜的反射光朝向一干涉物镜；

所述干涉物镜使由分光棱镜反射的光束在光轴的方向上会聚而照射于被测物，并且使从被测物反射得到的测量光束与从干涉物镜内部得到的参照光束相干涉；

被测物的干涉光从所述干涉物镜中返回后，依次途径所述分光棱镜、一筒镜、一探测器，所述干涉光经过筒镜后被探测器接收。

2.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述照明模块包括一照明光源、准直透镜、复眼透镜、聚光透镜，所述照明光源的出射光依次途径所述准直透镜、所述复眼透镜、所述聚光透镜后，形成准直均匀光线。

3.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述干涉物镜包括一用于改变干涉光场条纹相位的环形移相器。

4.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述结构光生成器是一数字微镜装置，所述照明模块与所述数字微镜装置之间设有一TIR棱镜；

所述数字微镜装置包括一半导体芯片，所述半导体芯片上排布有一个由微镜片组成的矩阵，每一个所述微镜片控制投影画面中的一个像素；

所述微镜片是一反射镜。

5.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述结构光生成器是一液晶显示器，所述液晶显示器包括至少一个偏振过滤片前板、至少一个偏振过滤片后板，所述偏振过滤片前板与所述偏振过滤片后板的偏振方向相互垂直；

所述偏振过滤片前板与所述偏振过滤片后板之间设有一液晶分子阵列层。

6.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述结构光生成器是一硅基液晶，所述照明模块与所述数字微镜装置之间还设有一分光棱镜。

7.根据权利要求1所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述结构光生成器是正弦光栅。

8.根据权利要求4、5、6或7所述的超分辨三维测量显微镜，其特征在于，所述结构光生成器连接有一控制装置，所述控制装置是PC终端，通过所述PC终端控制结构光生成器生成不同光强不同相位初值的结构光。