[发明专利]精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法

权利要求书

1.一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，包括：

增压泵(34)，待处理的浸液通过该增压泵泵送处理后具有一定压力后以输出；

初级热交换器(23)，其浸液入口与所述增压泵出口连通，经所述增压泵处理输出后的浸液与冷媒在该初级热交换器中进行热交换，以实现浸液温度的初级调控；

次级热交换器(24)，其浸液入口与所述初级热交换器(23)浸液出口连通，用于冷媒对经该次级热交换处理后的浸液进行再次热交换，以对浸液温度再次调整，实现浸液温度的次级调控；

流量伺服阀(22)，其入口与所述初级热交换器(23)浸液出口连通，其出口与所述次级热交换器(24)出口连通，以形成与所述次级热交换器(24)并联，使得从所述初级热交换器(23)处理后的浸液可分别进入次级热交换器(24)和流量伺服阀(22)，以调节进入所述次级热交换器(24)的与冷媒进行热交换的浸液流量，实现对浸液温度的调控；

通过协调控制进入所述初级热交换器(23)和次级热交换器(24)的冷媒流量，并结合所述流量伺服阀(22)对进入所述次级热交换器(24)的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温度稳定且精确的浸液以用于浸没式光刻工艺。

2.根据权利要求1所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括节流阀(36)，其入口与所述次级热交换器(24)浸液出口连通，其出口与所述流量伺服阀(22)出口连通，以对经所述次级热交换器(24)流出的浸液流量进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括

初级流量伺服阀(20)，其入口连通冷媒输出端，其出口连通所述的初级热交换器(23)冷媒入口，初级流量伺服阀(20)以对经自身流入初级热交换器(23)的冷媒流量进行控制，从而控制热交换能力而实现温度的初级调控。

4.根据权利要求1-3之一所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括

次级流量伺服阀(21)，其入口连通所述初级热交换器(23)冷媒出口，其出口连通所述次级热交换器(24)的冷媒入口，以控制从初级热交换器(23)经自身流入次级热交换器(24)的冷媒流量，从而控制热交换能力而实现温度的次级调控。

5.根据权利要求1-4之一所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括：

第一溢流阀(31)，其连通初级流量伺服阀(20)入口和冷媒回收端，以保证初级流量伺服阀进口压力值；

第二溢流阀(32)，其连通次级流量伺服阀(21)入口和冷媒回收端，以保证次级流量伺服阀的进口压力值。

6.根据权利要求1-5之一所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，经流量伺服阀(22)出口流出的浸液与从所述节流阀(36)出口流出的浸液在所述节流阀(36)出口处汇聚后分别进入两个分管路，部分浸液从一个分管路流向浸没式光刻机，剩下的浸液从另一个分管路流向所述增压泵(34)入口，且再次流入两个热交换器以形成浸液回路。

7.根据权利要求1-6之一所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括

单向阀(33)，其出口连通所述增压泵(34)入口，浸没式光刻工艺使用过的废弃浸没液经除气除杂工艺后，流向所述单向阀(33)入口，经单向阀(33)流向所述增压泵(34)入口，以再次进入浸液回路。

8.根据权利要求1-7之一所述的一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，还包括：

次级温度传感器(42)，安装于浸没式光刻机入口，以用于测量经过所述两级温度调控后通入浸没式光刻机的浸液温度；

初级温度传感器(47)，安装在所述初级热交换器(23)的浸液出口，用于测量经过温度初级调控后浸液温度；

初级温度传感器(47)和次级温度传感器(42)优选为精密温度传感器。