[发明专利]一种光学薄膜激光毁伤的识别装置及识别方法

权利要求书

1.一种光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：包括激光器(1)以及测试样品(2)；测试样品(2)安装于测试样品台(9)上，激光器(1)正对测试样品(2)的待测表面，测试样品台(9)的一侧设置有用于加速经激光辐照样品所溅射出的微粒，并形成准直粒子束的加速电极(4)，且测试样品台(9)与加速电极(4)之间还设置有用于提高离子含量的电子源(3)；加速电极(4)的后端设置使离子发生偏转的磁场(5)，与加速电极(4)平行的一侧设置有用于接收不同偏转半径的离子的若干接收电极(6)；接收电极(6)的输出端均连接到A/D转换器(7)的信号输入端上，A/D转换器(7)的信号输出端连接有用于生成溅射粒子质荷比谱图的计算机(8)。

2.根据权利要求1所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述的激光器(1)为能使测试样品(2)表面薄膜毁伤的高能量激光器。

3.根据权利要求1或2所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述激光的波长为1064nm，脉宽为10ns，单脉冲能量为400mJ。

4.根据权利要求1所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述的测试样品台(9)为由步进电机控制的二维移动平台。

5.根据权利要求1所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述的磁场(5)为匀强磁场。

6.根据权利要求1所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述的若干接收电极(6)并排平行设置。

7.根据权利要求1所述的光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：所述的计算机(8)中存储有元素的标准质荷比。

8.一种采用权利要求1所述光学薄膜激光毁伤识别装置的识别方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)首先，安装测试装置，将激光器的激光发射端正对夹持在测试样品台上的测试样品，接着在测试样品台的一侧设置加速电场，将电子源置于测试样品台与加速电场之间，每个接收电极均与加速电极平行设置，且加速电极和接收电极均与磁场相邻，最后再依次连接接收电极、A/D转换器以及计算机；

2)接着，打开激光器以及计算机，测试样品的薄膜表面受到激光辐照破损后，破损区的微粒向空间溅射，溅射出的微粒经过电子源后进入加速电极，经过加速电极之间的加速电场进入加速电极后方的磁场，离子在磁场力的作用下发生偏转从而射出磁场被若干接收电极接收，接收电极将接收到的模拟信号经A/D转换器转换成数字信号并传输到计算机内，由计算机生成溅射粒子的质荷比谱图；

3)根据存储于计算机中元素的标准质荷比，确定溅射物的元素组成，最终通过对比标准质荷比就能直接判断出测试样品是否发生了毁伤。

9.根据权利要求8所述的光学薄膜激光毁伤识别方法，其特征在于：所述的步骤3)中，判断测试样品是否发生毁伤的方法具体为：

将步骤2)中得到的溅射粒子的质量谱图与大气中的元素进行对比，如果有新出现的元素，即该元素不属于大气中的元素，则测试样品发生了毁伤；反之，则测试样品完好。