[发明专利]线性扫描总成

说明书

技术领域

本发明关于一种线性扫描总成，特别是关于一种可快速扫描、且具有高解析度的线性扫描总成。

背景技术

在现有的圆片检测方式中，多是将圆片载入光学检测仪器后，再以人工的方式检视光学检测仪器上的圆片内的芯片单元。不过，由于此种方式主要是依据人工的方式判别并记录圆片上的缺陷，故检测速度较慢。

另一方面，考量到成本因素，人工检测方式大多采用抽样检测的方式为之。如此一来，此种检测方式将具有以下的缺点：首先，对于整体成品率的提升有其限制；另一方面，此种人工方式的检测作业，难免存在人为疏漏；最后，人工检测的效率通常较低下且提高了整体的检测成本。

有鉴于此，如何提高圆片的检测效率并改善上述缺失，乃为此一业界亟待解决的问题。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种可以快速扫描圆片并具有高解析影像的线性扫描总成。

为达上述目的，本发明的一种线性扫描总成包含一承载平台、一线性扫描装置及一线性光源。承载平台具有一通孔，圆片适于设置于通孔上，使承载平台可移动地承载圆片。线性扫描装置设置于承载平台上方，且线性光源设置于承载平台下方，用以发射一线性光束以经由通孔穿透圆片。

其中，线性扫描装置适于接收穿透圆片的线性光束，以完成圆片的扫描检测作业。

为达上述目的，本发明的线性扫描总成所具有的承载平台适于沿一水平方向或一垂直方向移动。

为达上述目的，本发明的线性扫描总成所具有的线性光源，其所发射的线性光束直接穿透圆片。

为达上述目的，本发明的线性扫描总成所具有的线性光源，其所发射的线性光束经由一反射元件反射后，间接穿透圆片。

为达上述目的，本发明的反射元件为一反射镜。

为达上述目的，本发明的圆片为双抛片圆片或LED圆片。

为达上述目的，本发明的线性扫描装置为一线性扫描摄影机，且该线性扫描摄影机具有4K、8K、12K及16K等解析度。

为让上述目的、技术特征、和优点能更明显易懂，下文以较佳实施例配合所附图示进行详细说明。

附图说明

图1为本发明线性扫描总成的立体示意图；

图2为本发明线性扫描总成另一视角的立体示意图；及

图3为本发明线性扫描总成进行扫描作业的示意图。

具体实施方式

本发明关于一种用以对一圆片200进行扫描检测作业的线性扫描总成100。

请同时参阅图1及图2，本发明的线性扫描总成100包含一承载平台110、一线性扫描装置120及一线性光源130。其中，承载平台110具有一通孔112，欲进行扫描检测的圆片200适于设置于通孔112上，且承载平台110可移动地承载圆片200。

如图所示，线性扫描装置120较佳地设置于承载平台110上方，同时线性光源130相对于线性扫描装置120，设置于承载平台110下方，使线性光源130可用以发射一线性光束以经由通孔112穿透圆片200。如此一来，线性扫描装置120将可在承载平台110上方接收穿透圆片200的线性光束并进行分析，以完成圆片200的扫描检测作业。

谨针对承载平台110、线性扫描装置120及线性光源130在进行扫描检测作业时，其彼此间的空间动作关系进行说明如下：

请一并参阅图3，在如图所示的一较佳实施例中，在进行扫描检测作业时，线性扫描装置120与线性光源130为固定不动，而仅使承载平台110沿一水平方向或一垂直于线性光束的方向移动，使线性光源130所发射的线性光束可沿一特定方向完整地扫描过整片圆片200。

并且，考量空间设置因素，在图2所示的一较佳实施例中，线性光源130平行于承载平台110，并设置于承载平台110下方。如此一来，当线性光源130发射线性光束时，线性光束将会先以平行于承载平台110的方向前进，而为一反射元件140反射后，再间接穿透圆片200，被线性扫描装置120所接收。

换言之，藉由前述的设置方式，当线性扫描装置120与线性光源130为固定不动，而仅承载平台110平行移动时，便能够达到使线性光源130所发射的线性光束可沿特定方向完整地扫描过整片圆片200的目的。