[发明专利]一种半导体产品封装工艺在审

专利信息
申请号: 201410203352.7 申请日: 2014-05-14
公开(公告)号: CN104282579A 公开(公告)日: 2015-01-14
发明(设计)人: 陆洪飞 申请(专利权)人: 苏州中搏成机电设备有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 215021 江苏省苏州市苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 产品 封装 工艺
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种半导体产品封装工艺,尤其涉及一种半导体产品QFN封装工艺。

背景技术

封装工艺一种将集成电路用绝缘的塑料或陶瓷材料打包的技术,它不仅起着安放、固定、密封、保护芯片和增强导热性能的作用,而且还是沟通芯片内部世界与外部电路的桥梁:芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印刷电路板上的导线与其他器件建立连接。因此,对于很多集成电路产品而言,封装技术都是非常关键的一环。

封装工艺按照封装外型可分为TSSOP(Thin Small Shrink Outline Package薄小外形封装)、QFN(Quad Flat No-lead Package四方无引脚扁平封装)、QFP(Quad Flat Package四方引脚扁平式封装)、等。QFN是一种无引脚封装,呈正方形或矩形,封装底部中央位置有一个大面积裸露焊盘用来导热,围绕大焊盘的封装外围四周有实现电气连结的导电焊盘。由于体积小、重量轻、加上杰出的电性能和热性能,这种封装特别适合任何一个对尺寸、重量和性能都有的要求的应用。

半导体QFN封装工艺流程分为前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割。在电镀工序前,由于撕膜后薄膜残胶,或注塑过程中树脂溢胶的存在,将影响半导体产品的导电性,不去除将造成残次品,如电性和沾锡测试失败。在电镀前的生产中对于引脚面、散热片的刮伤如不修复,将造成产品外观残次品。

在半导体封装行业中通常采用的是药水浸泡,手动擦拭,高压水清洗的方式进行引脚面的清洁;但是效果不好,对于残胶,注塑溢胶无法起到去除作用,对于引脚面刮伤无法进行修复。

鉴于上述缺陷,实有必要提出一种改进的半导体产品封装工艺。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于:提供一种半导体产品封装工艺,能够很好的对撕膜后薄膜残胶或注塑过程中树脂溢胶进行清洁处理,修复引脚面、散热片区域的刮伤,提高产品的良率,节省生产资源。

为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:

一种半导体产品封装工艺,分为前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;在撕膜工序后,电镀工序前,还包括抛光工序:使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,目的是去除残胶,刮伤,注塑溢胶,接着进行精抛,目的是把引脚面抛光至所需粗糙度,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。精抛和粗抛均使用防静电纤维轮,精抛工序的防静电纤维轮的转速小于粗抛工序的转速。

更进一步,本发明所述的封装工艺,使用的防静电纤维轮为复合导电纤维轮;水洗采用蒸馏水进行;烘干的温度为80℃~120℃,烘干时间为20min~30min。

与现有技术相比,采用本发明所述的半导体产品封装工艺,对半导体产品引脚面的残胶,注塑溢胶具有很好的清洁效果;对引脚面、散热片区域的刮伤有很强的修复效果,并且工艺简单,操作方便,对不同厚度的产品可以通过调整防静电纤维轮转速进行控制,通用性强。

附图说明

图1是本发明所述的半导体产品封装工艺流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

请参阅图1所示,一种符合本发明所述的半导体产品封装工艺,其过程包括,前制程工序和后制程工序,前制程工序依次为研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;在撕膜后,电镀前,还包括抛光工序:使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,接着进行精抛,把引脚面抛光至所需的粗糙度,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。精抛和粗抛均使用防静电纤维轮,精抛工序的防静电纤维轮的转速小于粗抛工序的转速。

更进一步,本发明所述的封装工艺,使用的防静电纤维轮为复合导电纤维轮;水洗采用蒸馏水进行;烘干的温度为80℃~120℃,烘干时间为20min~30min。

本发明所述的半导体产品封装工艺,对半导体产品引脚面的残胶,注塑溢胶具有很好的清洁效果;对引脚面、散热片区域的刮伤有很强的修复效果,并且工艺简单,操作方便,对不同厚度的产品可以通过调整防静电纤维轮转速进行控制,通用性强。

本发明不局限于上述具体的实施方式,本领域的普通技术人员从上述构思出发,不经过创造性的劳动,所作出的种种变换,均落在本发明的保护范围之内。

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