[发明专利]一种半导体产品封装工艺在审
申请号: | 201410203352.7 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104282579A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 陆洪飞 | 申请(专利权)人: | 苏州中搏成机电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 215021 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 产品 封装 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及一种半导体产品封装工艺,尤其涉及一种半导体产品QFN封装工艺。
背景技术
封装工艺一种将集成电路用绝缘的塑料或陶瓷材料打包的技术,它不仅起着安放、固定、密封、保护芯片和增强导热性能的作用,而且还是沟通芯片内部世界与外部电路的桥梁:芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印刷电路板上的导线与其他器件建立连接。因此,对于很多集成电路产品而言,封装技术都是非常关键的一环。
封装工艺按照封装外型可分为TSSOP(Thin Small Shrink Outline Package薄小外形封装)、QFN(Quad Flat No-lead Package四方无引脚扁平封装)、QFP(Quad Flat Package四方引脚扁平式封装)、等。QFN是一种无引脚封装,呈正方形或矩形,封装底部中央位置有一个大面积裸露焊盘用来导热,围绕大焊盘的封装外围四周有实现电气连结的导电焊盘。由于体积小、重量轻、加上杰出的电性能和热性能,这种封装特别适合任何一个对尺寸、重量和性能都有的要求的应用。
半导体QFN封装工艺流程分为前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割。在电镀工序前,由于撕膜后薄膜残胶,或注塑过程中树脂溢胶的存在,将影响半导体产品的导电性,不去除将造成残次品,如电性和沾锡测试失败。在电镀前的生产中对于引脚面、散热片的刮伤如不修复,将造成产品外观残次品。
在半导体封装行业中通常采用的是药水浸泡,手动擦拭,高压水清洗的方式进行引脚面的清洁;但是效果不好,对于残胶,注塑溢胶无法起到去除作用,对于引脚面刮伤无法进行修复。
鉴于上述缺陷,实有必要提出一种改进的半导体产品封装工艺。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于:提供一种半导体产品封装工艺,能够很好的对撕膜后薄膜残胶或注塑过程中树脂溢胶进行清洁处理,修复引脚面、散热片区域的刮伤,提高产品的良率,节省生产资源。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种半导体产品封装工艺,分为前制程工序和后制程工序,前制程工序依次包括研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;在撕膜工序后,电镀工序前,还包括抛光工序:使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,目的是去除残胶,刮伤,注塑溢胶,接着进行精抛,目的是把引脚面抛光至所需粗糙度,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。精抛和粗抛均使用防静电纤维轮,精抛工序的防静电纤维轮的转速小于粗抛工序的转速。
更进一步,本发明所述的封装工艺,使用的防静电纤维轮为复合导电纤维轮;水洗采用蒸馏水进行;烘干的温度为80℃~120℃,烘干时间为20min~30min。
与现有技术相比,采用本发明所述的半导体产品封装工艺,对半导体产品引脚面的残胶,注塑溢胶具有很好的清洁效果;对引脚面、散热片区域的刮伤有很强的修复效果,并且工艺简单,操作方便,对不同厚度的产品可以通过调整防静电纤维轮转速进行控制,通用性强。
附图说明
图1是本发明所述的半导体产品封装工艺流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
请参阅图1所示,一种符合本发明所述的半导体产品封装工艺,其过程包括,前制程工序和后制程工序,前制程工序依次为研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;在撕膜后,电镀前,还包括抛光工序:使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,接着进行精抛,把引脚面抛光至所需的粗糙度,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。精抛和粗抛均使用防静电纤维轮,精抛工序的防静电纤维轮的转速小于粗抛工序的转速。
更进一步,本发明所述的封装工艺,使用的防静电纤维轮为复合导电纤维轮;水洗采用蒸馏水进行;烘干的温度为80℃~120℃,烘干时间为20min~30min。
本发明所述的半导体产品封装工艺,对半导体产品引脚面的残胶,注塑溢胶具有很好的清洁效果;对引脚面、散热片区域的刮伤有很强的修复效果,并且工艺简单,操作方便,对不同厚度的产品可以通过调整防静电纤维轮转速进行控制,通用性强。
本发明不局限于上述具体的实施方式,本领域的普通技术人员从上述构思出发,不经过创造性的劳动,所作出的种种变换,均落在本发明的保护范围之内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造