[发明专利]一种柔性显示器的制作方法

权利要求书

1.一种柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述柔性显示器的制作方法包括以下步骤：

在刚性基板上形成一硅层；

经由曝光制程及蚀刻制程将所述硅层做成框型硅层；

在形成有框型硅层的刚性基板表面上贴附柔性基板；

制作显示器件层于所述柔性基板上；

在完成显示器件层后，对框型硅层进行脱氢处理，以使得所述柔性基板与所述框型硅层分开，从而得到柔性显示器。

2.如权利要求1所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述刚性基板为玻璃基板，所述硅层采用的材料是非晶硅；

所述在刚性基板上形成一硅层的步骤包括：

在玻璃基板上成膜一非晶硅层。

3.如权利要求2所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述在玻璃基板上成膜一非晶硅层的步骤，包括：

将清洗后的玻璃基板，于化学气相沉积机台上使用成膜方法长出含氢的非晶硅，成膜时增加氢气气体比例，使非晶硅内含有高比率的氢原子。

4.如权利要求2所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述经由曝光制程及蚀刻制程将所述硅层做成框型硅层的步骤，包括：

在非晶硅层表面涂抹光阻；

然后用光罩对所述光阻进行曝光；

接着对光阻进行显影；

在显影后，对非晶硅层进行蚀刻，形成框型非晶硅。

5.如权利要求2所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述柔性基板为塑料基板；

所述在形成有框型硅层的刚性基板表面上贴附柔性基板的步骤包括：

在成膜有框型非晶硅的玻璃基板表面上贴附塑料基板。

6.如权利要求5所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述在成膜有框型非晶硅的玻璃基板表面上贴附塑料基板的步骤，包括：

用涂布法在成膜有框型非晶硅的玻璃基板表面上黏合塑料基板。

7.如权利要求5所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述在成膜有框型非晶硅的玻璃基板表面上贴附塑料基板的步骤，包括：

以压合贴合法在成膜有框型非晶硅的玻璃基板表面上黏合塑料基板。

8.如权利要求5所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述在完成显示器件层后，对框型硅层进行脱氢处理，以使得所述柔性基板与所述框型硅层分开，从而得到柔性显示器的步骤包括：

在完成显示器件层后，对非晶硅进行脱氢，产生的氢气会自动将塑料基板与非晶硅分开，从而得到柔性显示器。

9.如权利要求8所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，所述在完成显示器件层后，对非晶硅进行脱氢，产生的氢气会自动将塑料基板与非晶硅分开，从而得到柔性显示器的步骤，包括：

在完成显示器件层后，采用激光照射方法将非晶硅脱氢，在脱氢过程中，产生的氢气会自动将塑料基板与非晶硅分开，从而得到柔性显示器。

10.如权利要求1所述的柔性显示器的制作方法，其特征在于，当制作的是柔性液晶显示器时，所述制作显示器件层于所述柔性基板上的步骤，包括：

制作液晶显示器件层于所述柔性基板上；或者，

当制作的是柔性电泳显示器时，所述制作显示器件层于所述柔性基板上的步骤，包括：

制作电泳显示器件层于所述柔性基板上；或者，

当制作的是柔性有机发光二极管显示器时，所述制作显示器件层于所述柔性基板上的步骤，包括：

制作有机发光二极管显示器件层于所述柔性基板上。