[发明专利]防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法在审
申请号: | 201410204621.1 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104018121A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 匡友元;邹清华;张鑫狄;吴泰必;吴聪原 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防止 高温 金属材料 泄漏 加热 容器 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及加热容器,尤其涉及一种防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法。
背景技术
OLED(有机发光二极管,Organic Light Emitting Diode)具有全固态、超薄、无视角限制、快速响应、室温工作、易于实现柔性显示和3D显示等优点,一致被公认为是下一代显示的主流技术。目前OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜,主要是使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料,使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化,沉积在有TFT结构或者阳极结构的基板上。
现有蒸镀制程中,对于蒸发容器普遍采用单层容器加热蒸发的模式,但是在升降温的过程中,加热容器侧面与底部交界处常常因为高温金属液体冷凝收缩导致发生微裂纹,从而引发材料异常流失,而且,微裂纹会导致高温液体流出进入加热装置引发内部电路短路,损坏整个加热装置,进而造成OLED产品生产中断和产品品质下降。因为微裂纹在冷却状态不容易发现,所以判断加热容器破裂泄漏的难度大而且难预知。
参见图1A及图1B,图1A为现有技术中一种OLED加热容器的结构示意图,图1B为图1A的剖面图,该OLED加热容器用于现有的OLED蒸镀制程。加热容器上方设有上盖2,上盖2上设有气孔1,加热容器内盛放的材料3经加热蒸发后可由气孔1按箭头方向逸出,当加热容器破损时,材料3由破裂处4溢出进入加热装置,一方面造成材料3大量流失和蒸发速率下降,中断生产,另一方面在不知情的情况下添加材料3进入加热装置有损坏加热装置可能。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器,克服加热容器损坏导致材料流失问题,保护加热装置。
本发明的另一目的在于提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器的制造方法,使该加热容器能够克服加热容器损坏导致材料流失问题,保护加热装置。
为实现上述目的,本发明提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器,包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,用于接受加热装置加热的外部加热容器,以及设有用于金属材料蒸发后逸出的气孔的上盖;该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定,该内部加热容器侧壁与该外部加热容器侧壁之间设有空隙,该上盖固定于该内部加热容器与外部加热容器的上方以覆盖该内部加热容器与外部加热容器的开口。
其中,该内部加热容器及外部加热容器材质相同。
其中,该加热容器为用于OLED蒸镀制程的加热容器。
其中,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部相互接触。
其中,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部之间设有空隙。
其中,该内部加热容器及外部加热容器为坩埚。
其中,该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部焊接成为一体。
其中,该上盖同时与该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部卡紧固定。
本发明还提供了所述加热容器的制造方法,包括:
步骤1、量取内部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤2、选取内径可包覆该内部加热容器的外部加热容器;
步骤3、根据该内部加热容器的高度对该外部加热容器的高度进行截取;
步骤4、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
本发明还提供了所述加热容器的另一制造方法,包括:
步骤11、量取外部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤21、选取外径可容纳于该外部加热容器中的内部加热容器;
步骤31、根据该外部加热容器的高度对该内部加热容器的高度进行截取;
步骤41、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
综上所述,本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器克服了加热容器在日常使用中出现裂痕引起的材料异常流失和生产进度中断的问题,有效的提高了加热装置连续稳定运行的周期、保证了产品的品质;同时,该加热容器的制造方法方便快捷,成本低廉。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中,
图1A为现有技术中一种OLED加热容器的结构示意图;
图1B为图1A的剖面图;
图2为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第一较佳实施例的剖面示意图;
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