[发明专利]一种射频热疗仪用电极制造方法有效
| 申请号： | 201410205903.3 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103956220A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张凯;王勃然;田赫;笔晓红;孙嘉欣 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨易奥秘科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;A61B18/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 热疗仪 用电 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频热疗仪用电极制造方法，其特征在于所述方法是由以下十七个工步组成：电极机加成型-碱液、酸液清洗抛光-阳极氧化-形成绝缘层-电化学镀金属膜-形成金属屏蔽层-光刻掩膜-湿法腐蚀去金属膜-湿法腐蚀去氧化铝膜-形成电磁场辐射面-光刻掩膜-湿法腐蚀去金属膜-湿法腐蚀去氧化铝膜-形成电极引出端-螺钉连接射频信号线-焊接屏蔽线-安装金属屏蔽罩。
2.根据权利要求1所述的射频热疗仪用电极制造方法，其特征在于利用阳极氧化方法在铝电极表面制作三氧化二铝绝缘层。
3.根据权利要求1所述的射频热疗仪用电极制造方法，其特征在于利用电化学镀膜技术在铝电极的三氧化二铝绝缘层表面形成金属薄膜屏蔽层。
4.根据权利要求1所述的射频热疗仪用电极制造方法，其特征在于利用光刻掩膜方法和湿法腐蚀方法，刻蚀出电极辐射面和电极引出端。
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