[发明专利]一种掩膜板盒

权利要求书

1.一种掩膜板盒，其特征在于，包括：

用于容置掩膜板的盒体结构；

及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上；

所述清洁机构包括：

能够在盒体结构上移动，以移动至所述盒体结构内的掩膜板的表面上预定位置处的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒体结构内的掩膜板的表面设置；

设置于所述盒体结构上的导轨，所述吸附部件设置于所述导轨上，并能够沿所述导轨移动；

及，用于驱动所述吸附部件沿所述导轨移动的驱动单元。

2.根据权利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述驱动单元位于所述盒体结构外，所述吸附部件伸出所述盒体结构外，与所述驱动单元连接；

所述掩膜板盒还包括：用于封闭所述吸附部件与所述盒体结构之间形成的空隙，以与所述盒体结构配合阻止外界污染进入所述盒体结构内的封闭结构。

3.根据权利要求2所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述导轨包括：沿盒体结构内的掩膜板的长度方向延伸，以使所述吸附部件沿所述掩膜板的长度方向移动的移动通槽，所述移动通槽设置于所述盒体结构的至少一侧面上；

所述吸附部件自所述移动通槽伸出所述盒体结构外；所述封闭结构设置于所述移动通槽上，能够在所述吸附部件移动过程中，封闭所述移动通槽的所述吸附部件之外的槽体部分，以与所述盒体结构配合阻止外界污染进入所述盒体结构内。

4.根据权利要求3所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述吸附部件包括：

能够在所述盒体结构内的掩膜板的宽度方向上从掩膜板的一侧延伸至掩膜板的另一侧的真空吸附管，所述真空吸附管可移动地设置于所述移动通槽内；

及，用于为所述真空吸附管提供真空吸附动力的真空气体供应单元；

其中，所述真空吸附管的内部中空，所述真空吸附管的面向掩膜板的吸附面上分布有多个吸盘；所述真空吸附管的至少一端端部自所述移动通槽伸出所述盒体结构外，且在所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部设置有用于与所述真空气体供应单元连通的真空接口。

5.根据权利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述真空接口上可拆卸地安装有用于堵塞所述真空接口的塞子。

6.根据权利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述移动通槽至少有两个，至少两个所述移动通槽分别设置于所述盒体结构的位于掩膜板的宽度方向上的相对两侧面上，所述真空吸附管的两端端部分别可移动地设置于至少两个移动通槽上，并分别自对应的所述移动通槽伸出所述盒体结构外。

7.根据权利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述驱动单元包括：

用于驱动所述真空吸附管沿所述移动通槽移动的移动杆，所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部连接。

8.根据权利要求7所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述移动通槽在所述盒体结构内的掩膜板的长度方向上的延伸长度大于所述盒体结构内的掩膜板的长度，且所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部活动连接，并能够绕所述真空吸附管的轴心旋转。

9.根据权利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述封闭结构包括：

沿所述盒体结构内的掩膜板的长度方向布置在所述移动通槽的开口相对边缘上的拉锁；

设置在所述真空吸附管的一侧，能够在所述真空吸附管移动时，打开位于所述真空吸附管移动前方的拉锁，并使得所述拉锁的打开距离大于所述真空吸附管的外径的开锁装置；

及，设置在所述真空吸附管的另一侧，能够在所述真空吸附管移动时，锁闭位于所述真空吸附管移动后方的拉锁的闭锁装置。

10.根据权利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于，

所述掩膜板盒还包括设置于所述盒体结构上，用于防止产生静电的静电除尘装置。