[发明专利]三通切换阀

权利要求书

1.一种三通切换阀，其在使用定积槽来校正气体用基准流量计时，配置于从所述气体用基准流量计到所述定积槽的流路，其特征在于，

具备：流入口，其连接于所述气体用基准流量计且从该气体用基准流量计引入气体；排出口，其排出从该流入口引入的气体；定积槽连接口，其连接于所述定积槽且将从所述流入口引入的气体供给到所述定积槽；第一致动器，其进行所述排出口的开闭；以及第二致动器，其进行所述定积槽连接口的开闭，

通过所述第一致动器与所述第二致动器独立地进行开闭动作，从而切换从所述流入口到所述排出口的流路和从所述流入口到所述定积槽连接口的流路。

2.根据权利要求1所述的三通切换阀，其特征在于，所述第一致动器以及所述第二致动器分别在缸内可移动地收容并具有活塞部件的一端，在所述第一致动器的活塞部件的另一端，与所述排出口相向地安装有树脂制片，在所述第二致动器的活塞部件的另一端，与所述定积槽连接口相向地安装有树脂制片。

3.根据权利要求2所述的三通切换阀，其特征在于，具备在所述活塞部件的杆部安装的工作位置检测板、以及检测该工作位置检测板的位置的检测部。

4.根据权利要求2或3所述的三通切换阀，其特征在于，所述第一致动器的活塞部件的另一端与所述排出口的最大距离为该最大距离乘以所述排出口的周围长度的值变为所述流入口的截面积的值以上的值，所述第二致动器的活塞部件的另一端与所述定积槽连接口的最大距离为该最大距离乘以所述定积槽连接口的周围长度的值变为所述流入口的截面积的值以上的值。

5.根据权利要求1所述的三通切换阀，其特征在于，在所述排出口以及所述定积槽连接口一同沿与所述流入口的气体流动方向平行的方向配置的情况下，所述第一致动器与所述第二致动器沿相互平行的方向配置。

6.根据权利要求1所述的三通切换阀，其特征在于，所述排出口以及所述定积槽连接口中的至少一方沿与所述流入口的气体流动方向正交的方向配置。

7.根据权利要求6所述的三通切换阀，其特征在于，在所述排出口沿与所述流入口的气体流动方向正交的方向配置、所述定积槽连接口沿与所述流入口的气体流动方向平行的方向配置的情况下，所述第一致动器与所述第二致动器沿相互正交的方向配置。

8.根据权利要求6所述的三通切换阀，其特征在于，在所述排出口与所述定积槽连接口一同沿与所述流入口的气体流动方向正交的方向配置的情况下，所述第一致动器与所述第二致动器沿相互相向的方向配置。

9.根据权利要求6所述的三通切换阀，其特征在于，在所述排出口沿与所述流入口的气体流动方向平行的方向配置、所述定积槽连接口沿与所述流入口的气体流动方向正交的方向配置的情况下，所述第一致动器与所述第二致动器沿相互正交的方向配置。